KLA先进的探针式台阶仪Alpha-Step D-600，可测量纳米级至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。
二、 功能
设备特点
台阶高度：几纳米至1200μm
低触力：0.03至15mg
视频：500万像素高分辨率彩色摄像头
梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪
软件：用户友好的软件界面
主要应用
台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度
纹理：2D粗糙度和波纹度
形式：2D翘曲和形状
应力：2D薄膜应力
应用领域
大学，研究实验室和研究所
半导体和复合半导体
SIMS：二次离子质谱
LED：发光二极管
太阳能
MEMS：微电子机械系统
汽车
医疗设备
三、应用
台阶高度
Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1200μm的2D和3D台阶高度。 这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。Alpha-Step 系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。
纹理：粗糙度和波纹度
Alpha-Step D-600测量2D和3D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。
外形：翘曲和形状
Alpha-Step D-600可以测量表面的2D形状或翘曲。这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。 Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。
应力：2D薄膜应力
Alpha-Step D-600能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。
报价：面议
已咨询694次D系列
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灵活且用户友好的纳米压痕仪，适用于测量模量、硬度（Oliver-Pharr模型，ISO 14577）、储存模量/损耗模量以及万能力学试验。能够施加高达1N的力，为硬质材料测试提供更高载荷和更大深度。可供选配的不同作动器，用于软质材料、摩擦学研究、横向力测量和其它需要双轴测量力和位移的场景。
iNano®纳米压痕仪使测量薄膜、涂层和小体积材料变得更简单。准确、灵活、用户友好的仪器可以进行多样的纳米材料力学测试，包括压痕、硬度、划痕和通用的纳米尺度测试。大的力和位移动态测量范围允许对从软聚合物到金属材料进行精确和可重复的测试。 模块选项可以适配各种应用：材料性能分布图、特定频率测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iNano纳米压痕仪拥有一整套可扩展的测试选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz 3D/4D性能分布图和远程视频选项。
Zeta™-20是一个高度集成的光学轮廓显微镜，可在紧凑、耐用的包装下提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot™技术，可同时收集高分辨率3D形貌信息和样品表面真彩色图像。Zeta-20 3D显微镜支持研发和生产环境，具有多模光学器件、易于使用的软件和性价比高等优势。 18604053809
2D价格、3D性能 Profilm3D是经济实惠、Z先进的光学轮廓仪。使用行业标准的白光干涉仪 (WLI) 和可选的相移干涉仪 (PSI) 来生成高质量的表面轮廓和无限深度的真彩色图像。 王树刚 18604053809
可在高温下进行各种原位力学的压缩和拉伸实验，与 SEM/FIB/EDS / EBSD 等完美结合！ KLA InSEM 系列可以和全球各个SEM和FIB厂商的主流型号联合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。 KLA 公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器。对纳米压痕物理模型和Z优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。KLA InSEM 系列：先进的激发器的结构设计，完全实现载荷和位移的分别控制和探测，完美实现纳米压痕检测，包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。 InForce50 载荷激发器 载荷激发器 • Z大加载载荷： 50mN • 纵向载荷分辨率： 3nN • 压头Z大移动范围：45um • 位移噪音背景: <0.01nm • 位移数字分辨率： <0.002nm InForce1000 载荷激发器 载荷激发器 • Z大加载载荷： 1000mN • 纵向载荷分辨率： 6nN • 压头Z大移动范围：80um • 噪音背景: <0.1nm • 位移数字分辨率： <0.004nm NanoFlip 的样品台处于“Up”状态时，SEM/FIB 可以方便的观察样品和进行微区定位，当 样品台处于“Down”状态时，SEM/FIB 又可以对整个力学实验过程进行实时观察并进行实 时的视频捕捉
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所有的纳米压痕试验都取决于精确的载荷和位移数据，科磊公司Z新的第六代G200X型纳米压痕仪采用线性度极好的电磁驱动的载荷装置和相互独立的三片电容位移传感器，从而保证 测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 科磊公司Z新的第六代G200X型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块化的控制器设计为今后的升级和维护带来极大的方便。此外，Z新的第六代G200X型纳米压痕仪完全符合各种国际标准，保证了数据的完整性和可比性。客户可以通过每个力学传感器自主设计试验，在任何时候对其进行切换，同时整个设备占地面积小，适合各种实验室环境。
设备特点 台阶高度：几纳米至1000μm 微力恒力控制：0.03至50mg 样品全直径扫描，无需图像拼接 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 软件：简单易用的软件界面 生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化 主要应用 台阶高度：2D和3D台阶高度 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度 形状：2D和3D翘曲和形状 应力：2D和3D薄膜应力 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌 工业应用 半导体和化合物半导体 LED：发光二极管 太阳能 MEMS：微机电系统 数据存储 汽车 医疗设备
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