美国KLA（科磊）光学轮廓仪P3D

主要功能

●    垂直扫描和相移干涉测量，可用于测量从纳米级到毫米级的表面特征

●    TotalFocus 3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化

●    真彩色成像可生成实际的样品颜色，增强可视化效果，尤其是对于细小或埋藏的特征

●    粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比

●    自动对焦功能具有行业领先的长压电行程范围，可扫描高度相隔甚远的多个表面

●    具有长行程范围的自动化 X-Y 样品台，非常适合分布测绘和拼接扫描

●    使用简便的软件包带有高级 Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移动应用程序，可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析

●    TotalFocus成像，即使在高度变化大于物镜焦深的表面上，也能产生令人惊叹的真彩图像，并且每个像素都在焦点上

主要应用

●    台阶高度：从纳米级到毫米级的3D台阶高度

●    纹理和形状：3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状的纹理表征

●    边缘倒角：3D边缘轮廓测量

●    缺陷表征：3D缺陷表面形貌、缺陷表征

●    对大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描

●    高粗糙度，低反射率，划痕表征

适用行业

●    大学，实验室和研究所

●    硅和化合物半导体

●    精密光学和机械

●    LED：发光二极管

●    功率器件

●    数据存储

●    MEMS：微机电系统

●    汽车

●    医疗设备

●    还有更多：请与我们联系并探讨您的要求

应用行业举例

3D和闪存打印

Profilm3D 可以轻松测量加工过的不锈钢的丝印。测量印刷层的厚度及均匀性，并对分层、覆盖均匀性和表面粗糙度进行表征。Profilm3D 设计提供了简单的样品安装和软件界面，从而简化制造和质量控制工艺监控。

金属精加工 / 微加工 / 模具加工

Profilm3D 可用于金属精加工和模具加工，例如切割锯对压电材料的切割深度进行量化时切割锯的关键校准。该系统还可以同时测量加工部件的表面粗糙度和关键尺寸。

半导体

后端封装凸点的共面性对于确保优质键合至关重要，Profilm3D 可快速生成共面性、间距一致性、尺寸等测量结果。其他应用包括掩模制造，激光打标，光刻胶图案，以及其他研发和工艺认证。

光学

该扫描可显示通过电子束曝光技术创造出的一个微型菲涅耳透镜。对于透镜等陡峭表面，粗糙度增强模式下的 Profilm3D 现在可以测量高达 60° 的坡度。

生物学

Profilm3D 非常适合测量生物样品，例如玻璃上的四苯基卟啉（TPP）薄膜。用 50 倍的 Mirau 物镜在 2 倍放大下对 TPP 成像，会显示出薄膜生长的情况。该图像是使用 TotalFocus™ 色彩技术生成的，能显示样品的实际颜色。