美国KLA（科磊）光学轮廓仪Zeta-20

多功能光学测试模组

Zeta-20提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求

• ZDot TM Z点阵三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术，Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户 测量最“困

难”的表面。

• ZIC 干涉反衬成像技术，实现 纳米级粗糙度表面的成像及分析。

• ZSI 白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达 埃级。

• ZI 白光干涉技术， 大视场下纳米级高度的理想测量技术。

• ZFT 反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。