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求助:直流磁控溅射靶材被穿透,会有什么现象啊?

冰柱雪车che    2014-07-04    靶材    浏览 341 次

如题。主要做的是金属靶材。在生产过程中,怎么监控靶材用量?随着靶材变薄,电压是不是会降低?靶材穿透会不会有打火现象啊!求助各位大大!!!!

精彩问答
微商导师老友23 发布日期:2014-07-05
1. 靶材穿透 不等于 电极穿透。 靶材一般都是固定在(相对)厚金属(例如 Cu)电极上。2. 由于电、磁、气、、等离子体、安装、靶材自身等因素的影响,靶材的消耗是不均匀的,基本成一个 环“U”状。“U”谷深度也不尽相同,存在一个薄弱点(Z先穿透)。3. 穿透时电压、电流变化:主要视 (金属)靶材 、基座 的材料特性(原子序数、半径、电导率……)而有差异。4. 厚度监测:首先必须知道 初始靶材厚度,监测分两种: a. 直接法:打开机台,拆下靶材测量,绘出剩余靶材厚度分布图, b. 间接法:Z大溅射淀积速率 x 时间 x 工艺批(片) = 安全系数 x 初始厚度。 其中 安全系数 由 a给出,或保守取值。 查看原帖>>
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