我要发布
仪器网/ 仪器社区/ 靶材/ 直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别到底是什么啊

直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别到底是什么啊

jy爱好无奈jy    2011-11-06    靶材    浏览 860 次

精彩问答
梯h化s泡y軝 发布日期:2017-11-28
主要的溅射方法可以根据其特征分为以下四种:(1)直流溅射;(2)射频溅射;(3)磁控溅射;(4)反应溅射。另外,利用各种离子束源也可以实现薄膜的溅射沉积。
现在的直流溅射(也叫二级溅射)较少用到,原因是溅射气压较高,电压较高,溅射速率小,膜层不稳定等缺点。
直流溅射发展后期,人们在其表面加上一定磁场,磁场束缚住自由电子后,以上缺点均有所改善,也是现阶段广泛应用的一种溅射方法。
而后又有中频溅射,提高了阴极发电速率,不易造成放电、靶材中毒等现象。
而射频溅射是很高频率下对靶材的溅射,不易放电、靶材可任选金属或者陶瓷等材料。沉积的膜层致密,附着力良好。
如果寻找本质区别是:直流溅射是气体放电的前期,而射频是后期,我们Z常见的射频是电焊机。溅射过程所用设备的区别就是电源的区别。
全部评论
昝忙肌 发布日期:2011-11-07
其它都一样,就是所用电源不一样。直流运用直流电源,射频运用交流电源(射频属于交流范畴,频率是13.56MHz。我们平常的生活用电频率为50Hz)。还有就是用途不太一样,直流磁控溅射一般用于导电型(如金属)靶材的溅射,射频一般用于非导电型(如陶瓷)靶材的溅射。
最新主题
相关版块
我要评论
X您尚未登录
账号登录
X您尚未登录
手机动态密码登录
X您尚未登录
扫码登录
官方微信

仪器网微信服务号

扫码获取最新信息


仪器网官方订阅号

扫码获取最新信息

在线客服

咨询客服

在线客服
工作日:  9:00-18:00
联系客服 企业专属客服
电话客服:  400-822-6768
工作日:  9:00-18:00
订阅商机

仪采招微信公众号

采购信息一键获取海量商机轻松掌控