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射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题?

宁安若    2013-11-12    靶材    浏览 463 次

Z近用ZnO,Al2O3粉末自己压制烧结了ZAO陶瓷靶,因为没有相应的条件,只在普通空气炉内烧结,烧结温度1100度。靶烧出来已经陶瓷化了,稍微用下就能发现上面有很多微小的空洞的。 问题来了: 1. 射频 ...

精彩问答
lanyixue_qin 发布日期:2013-11-13
应该是烧结的靶材中氧含量偏少,并且溅射是不存在氧气氛围,使得溅射出来的薄膜中氧含量进一步减少造成的。薄膜颜色反应了一定的薄膜厚度。这是由于薄膜干涉而造成的。薄膜干涉的颜色与薄膜的厚度和折射率相关,薄膜颜色不同的主要原因是薄膜厚度不均匀而产生的。
全部评论
龙宇x求 发布日期:2013-11-13
烧结陶瓷靶材一般要采用热压法,你做靶材时没有用高压,靶材的致密度不够,当然做不出好的薄膜了。
微商导师老友23 发布日期:2013-11-13
透过率应该是因为氧含量和膜后的影响。可能是薄膜中的氧含量还没提上来吧。楼主对靶材和薄膜测试一下氧含量不就知道了。薄膜干涉不但表现在直视时的颜色(如:肥皂泡的颜色就是这个原理),也会影响透过率(表现在透过率曲线是震荡曲线,根据震荡峰位可以模拟出薄膜的厚度和折射率。楼主自己百度一下相关资料吧。)。控制薄膜可以控制薄膜的颜色。但楼主所说的淡黄色应该与薄膜吸收有关。
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