实测案例——白光反射光谱法（WLRS）测量厚膜厚度
目标：反射基板上厚膜厚度的精确测量。
手段和方法：WLRS用于测量厚透明薄膜（>100μm）的薄膜厚度。所有测量均使用调谐至5401000nm光谱范围的FR-Basic进行。反射探头的有效斑点直径为1mm。样品是显微镜玻璃和硅晶片，通过旋涂和通孔扩散涂有PMMA和SU-8薄膜。对于参考测量，使用高反射铝涂层镜（NT01-913-533，Edmund Optics）。
结果：在图1中，显示了在标准显微镜玻璃上旋涂的PMMA薄膜的反射光谱。由于基板是透明的，因此采用了一种特殊的保持器，防止来自基板背面的透射光被反射探针反射和收集。由于PMMA和基板之间的折射率对比度较小，反射条纹的振幅较小，但即使在这种情况下，膜厚度也能精确计算。在图2-4中，显示了施加在Si基板上的SU-8薄膜的薄膜厚度测量。可以精确测量甚至高于400μm的薄膜厚度。通过进一步将光谱区域调谐到较小的光谱范围，例如850、1000nm，可以测量到更高的膜厚度。
图1：实验和拟合反射光谱从显微镜玻璃上的a~10μm PMMA开始(原始数据)
图2:实验和拟合反射光谱硅片上旋涂a ~90μm SU-8薄膜(绝对反射率数据).
图3：通过扩散器在硅片上涂覆a~170μm SU-8薄膜的实验和拟合反射光谱(绝对反射率数据).
图4：通过扩散器在硅片上涂覆a ~430μm SU-8薄膜的实验和拟合反射光谱(未经加工的未归一化的反射率数据).
结论：证明了厚膜厚度（甚至>0.4mm）的精确测量。
全部评论(0条)
推荐阅读
-
- 实测案例——白光反射光谱法（WLRS）测量厚膜厚度
- WLRS用于测量厚透明薄膜（\x26gt;100μm）的薄膜厚度。所有测量均使用调谐至540、1000nm光谱范围的FR-Basic进行。反射探头的有效斑点直径为1mm。样品是显微镜玻璃和硅晶片，通过旋涂和通孔扩散涂有PMMA和SU-8薄膜。
-
- 实测案例——白光反射光谱法（WLRS）测量厚膜厚度
- WLRS用于测量厚透明薄膜（\x26gt;100μm）的薄膜厚度。所有测量均使用调谐至5401000nm光谱范围的FR-Basic进行。反射探头的有效斑点直径为1mm。
-
- 实测案例——白光反射光谱法（WLRS）测量薄膜堆叠的厚度
- WLRS用于测量介电和半导体薄膜堆叠情况下的薄膜厚度。所有测量均使用FR-Basic在400-1000nm光谱范围内进行。反射探头的有效斑点直径为1mm。
-
- 实测案例——用白光反射光谱法（WLRS）实时监测环境变化引起的薄膜厚度变化
- 本次实测案例将实时监测聚合物薄膜因与环境相互作用（分析物分子的吸附/解吸）而导致的薄膜厚度变化。
-
- 实测案例——通过白光反射光谱（WLRS）和FR-Mapper绘制薄膜厚度图
- FR-Basic与FR-Mapper结合使用，可快速准确地测量大面积预定义点上的薄膜厚度。所有测量均使用FR-Basic进行，该FR-Basic经过调谐，可在540-1000nm光谱范围内运行，同时将样品固定在FR- Mapper上。
-
- 实测案例——通过膜厚仪吸收测量测定溶液中的物质浓度
- 本次实测案例将聚焦于液体样品吸收和浓度的实时测量。
-
- 实测案例——折射率测量
- 实测案例——折射率，本次实测将测量薄膜的折射率和薄膜厚度。
-
- 德国Sentech 光谱反射膜厚仪 RM 2000
- . 在垂直入射角的无接触、光学反射测量，表征薄膜和大块材料 .光谱范围从200到1000 nm . 功能强大的、独特的分析软件包FTPadv Expert . 高稳定的氘灯和卤素钨灯光源 . 高精度的
-
- 分光干涉膜厚仪：精确测量薄膜厚度的关键工具
- 分光干涉膜厚仪是一种用于测量薄膜厚度的高精度仪器，广泛应用于半导体制造、光学镀膜、生物医药等高科技领域。
-
- 实测案例——酒石酸氟酸阳极氧化（TSA）的控制-WLRS阳极涂层表征
- 铝-2024合金采用全无铬工艺制备，并在标准工业酒石酸-硫酸阳极氧化后进行阳极氧化。按照标准测量程序（样品的反射光谱、铝镜的参考反射光谱、暗光谱），使用FR-Basic工具在400-800nm光谱范围内测量阳极涂层厚度和折射率。
-
- 椭偏仪测量膜厚的原理
- 椭偏仪是一种光学测量仪器，主要用于测量薄膜厚度和光学常数（如折射率和消光系数）。薄膜技术在半导体、光学元件、微电子和纳米材料等领域具有广泛应用，而薄膜厚度的精确测量对材料性能的研究和产品的质量控制至
-
- Sensofar共聚焦白光干涉仪光谱反射技术
- 对于薄膜，厚度与光波长类似，我们沿着光谱获得波浪状的反射率响应。
-
- 红外光谱法定性测量药用乙醇
- 红外光谱法是一种有效的定性测量乙醇的方法，通过分析乙醇分子中官能团的特征吸收峰，可以准确地识别和确认乙醇的存在。
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。
②凡本网注明"来源：仪器网"的所有作品，版权均属于仪器网，转载时须经本网同意，并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi
上海计呈教学设备有限公司
沪公网安备 31011502008050号
参与评论
登录后参与评论