应用快读丨平插式能谱仪表征氢气选择性膜

实验背景

为了分离和纯化氢气，本文研究了一种新型氢气选择性膜，这种纳米复合膜成功结合了陶瓷基质的坚固性、TiOxNy薄层的气体选择性以及钯纳米颗粒（Pd NPs）的氢气吸附性。作者通过精确控制TiOxNy-Pd层的厚度和化学成分，实现了氢气选择性。

测试过程

氧化铝管状支撑的SEM图像如图1所示，基底表现出一种不对称的多孔结构，由γ-Al2O3介孔内层组成，平均孔径在5到8纳米之间。原子层沉积在大孔管状支撑物上，由三层构成，从管内到管外的平均孔径分别为0.2μm、0.8μm和10 μm。

图1.管截面的SEM图像

在二氧化钛沉积后，作者对氧化铝支撑材料横截面进行EDS 分析，结果如图2所示。通过对TiOxNy层进行EDS面分析，发现Ti在整个支撑中均匀分布，表明TDMAT和NH3在多孔网络中有效扩散，实现了在大孔（α-Al2O3）和中孔（γ-Al2O3）部分的均匀涂层。实验表明，FlatQUAD可以在低电压（5kV）下表征多孔样品，在500μm标尺大面积面扫描下也可清晰表征120nm TiN层。

图2.二氧化钛沉积后，氧化铝支撑材料横截面的EDS面扫描图

更多信息请参阅原文

https://doi.org/10.1016/j.apmt.2024.102303,Development of hydrogen-selective TiOxNy-Pd composite membrane materials by atomic layer deposition,Cl′emence Badiea,Martin Drobekb, Anne Julbeb, Christophe Charmetteb, Jim Cartierb, Jean- Manuel Decamsc, Vincent Astiec, Mikhael Bechelany, Lionel Santinaccia

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