工程师日记 | 解决测厚仪发生Z轴警报的问题

仪器类型

应用背景知识

日立FT系列镀层测厚仪都是上照式结构，既解决了样品测量面的凹凸和聚焦问题又为自动聚焦自动测量等功能提供了结构便利。上照式仪器必须由Z轴带动样品平台和测量头进行升降动作。

日立工程师抵达客户现场通电后初始化过程即发生Z轴警报，按照Z轴警报常见的故障进行排查，清洁Z轴感应器，导轨，丝杆后，故障依然无法消除。然后，手动旋转电机时发现阻力大于正常阻力，怀疑Z轴丝杆与电机齿轮的衔接处存在传动异常。工程师拆开Z轴与电机的封闭结合机构，发现齿轮磨损严重，接触面干燥无润滑油，磨损导致缝隙过大，润滑油干枯后导致摩擦力过大，电机无法正常带动Z轴运作。工程师调整电机齿轮与Z轴丝杆的位置，重新涂抹润滑油，开机后故障消除。

工程师小贴士

镀层测厚仪在长期使用后，不定期添加各轴承润滑油，会导致各轴承警报的发生。建议委托厂家专业工程师定期进行年检，对仪器内部各警报隐患进行排查，及时发现并排除问题，确保仪器正常运行。