考夫曼射频离子源RFICP380辅助溅射沉积制备锂硫电池正极

2023-02-03 13:53:46 64阅读次数

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某锂硫电池制造商采用伯东KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助溅射沉积制备锂硫电池正极片.

伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:

射频离子源型号	RFICP380
Discharge 阳极	射频 RFICP
离子束流	>1500 mA
离子动能	100-1200 V
栅极直径	30 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射
流量	15-50 sccm
通气	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力	< 0.5m Torr
长度	39 cm
直径	59 cm
中和器	LFN 2000

工艺流程:

该正极片的制备在离子束溅射室内进行, 将铝箔作为基片, 将定量的块体硫和块体碳作为靶材.

在开始工艺前, 需要将离子束溅射室抽真空后, 然后利用KRI 射频离子源 RFICP380 将通入的氩气离化为氩离子, 氩离子束以不同的功率交替轰击块体硫和块体碳, 将硫原子和碳原子分别溅射出来, 沉积到铝箔表面, 即获得带有硫碳复合材料的锂硫电池正极片.

KRI 射频离子源 RFICP380 特性:

1. 大面积射频离子源

2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求

3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求

4. 离子束流: >1500 mA

5. 离子动能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自动控制器, 一键自动匹配

8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW

9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装

10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用

11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

为了给离子束溅射室提供 10-4 Pa真空度, 该制造商采用伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700抽真空. 其技术参数如下:

2707-Operating voltage: V DC	48 (± 5 %) V DC
Ar 的压缩比	> 1 · 1011
Ar 的抽速	665 l/s
Ar 的Z终转速时的气体流量	3.5 hPa l/s \| 2.62 Torr l/s \| 3.5 mbar l/s
H2 的压缩比	4 · 105
H2 的抽速	555 l/s
H2 的Z终转速时的气体流量	> 14 hPa l/s \| > 10.5 Torr l/s \| > 14 mbar l/s
He 的压缩比	3 · 107
He 的抽速	655 l/s
He 的Z终转速时的气体流量	10 hPa l/s \| 7.5 Torr l/s \| 10 mbar l/s
I/O 接口	RS-485, 远程, Profibus
N2 的压缩比	> 1 · 1011
N2 的抽速	685 l/s
N2 的zui大预真空	11 百帕
N2 的Zzhong转速时的气体流量	6.5 hPa l/s \| 4.88 Torr l/s \| 6.5 mbar l/s
不带气镇的Z终压力	1 · 10-7 百帕
允许冷却水的温度	15 – 35 °C 摄氏度
冷却水消耗Z小值	100 l/h
冷却水耗量	100 l/h
冷却类型, 可选项	空气
冷却类型, 标准	水
声压水平	≤50 dB(A) 分贝 (A)
安装方向	任何
排气连接	G 1/8"
接口, 扩展	Profibus
方位	混合动力
Zda允许磁场	6 mT
根据 PNEUROP 的Z终压力	< 1 · 10-7 百帕
电子驱动单元	带有 TC 400
电流max值	8,75 A
耗电量 max.	420 瓦
转速 Â± 2 %	49,200 rpm \| 49,200 min-1
转速可变化	60 – 100 %
运行时间	2 分
连接法兰（入口）	DN 160 ISO-F
连接法兰（出口）	DN 25 ISO-KF/G ¼"
重量	12.1 千克
防护等级	IP54

运行结果:

能够精确控制溅射量, 获得混合均匀的硫碳复合材料.

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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