实测案例——盖玻片厚度测量

目标：玻璃盖玻片厚度的测量

实现手段与方法：使用一台配置为在550–950 nm光谱范围内工作的FR-Basic-NIR-N设备。本研究中所用的盖玻片分别购自康宁公司（Corning，No. 1型，厚度为0.13 至 0.16 mm）和费舍尔科学公司（Fischer Scientific，2型，尺寸为22 mm × 22 mm，厚度为0.19 至 0.23 mm）1。盖玻片的厚度使用三丰（Mitutoyo）机械式厚度测量仪（型号Laser Hologage，分辨率为0.1 μm）进行测量。

结果：将盖玻片安装在一种特殊的支架上，该支架适用于从总镜面反射光谱中扣除背面反射率。盖玻片的折射率值是从材料数据库中选取的。FR-Basic NIR-N 在一个狭窄的光谱窗口内运行，能够测量厚膜和超厚膜。在图 1 中展示了实验测得的反射光谱和拟合的反射光谱，二者吻合度非常高。测得的厚度值符合制造商提供的规格要求。

使用三丰（Mitutoyo）厚度测量系统对同样的盖玻片进行表征，结果也列于表 1 中。这两种相互独立的测量方法所测得的厚度值一致性非常好。

图 1：使用 FR-Basic NIR-N 进行的测量。黑色曲线是实验测得的反射光谱，红色曲线是经过傅里叶变换后的拟合光谱。用于拟合的光谱范围是 800-850 纳米。

结论：使用 FR-Basic 工具准确测量了盖玻片的厚度，且测量结果通过独立测量得到了验证。