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高低温探针台

来源：北方华测（苏州）测控技术有限公司更新时间：2024-11-14 11:11:08 阅读量：246

导读：高低温探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转高低温探针台探针座上的X-Y-Z的三

产品特点及应用

◆ 可用于12英寸以内样品测试；

◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜；

◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量；

◆ 可升降调节适合加装探针卡；

◆ 可搭配多种类型显微镜；

技术参数

◆ 台体规格

尺寸：6英寸/8英寸/12英寸；

水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置；

X-Y移动行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；

X-Y移动精度：10μm/1μm；

样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环；

针座平台：U型针座平台，最多可放置6~12个探针座；

平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm；

背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极；

温度范围：-80℃~+400℃；

温度精度：0.01℃/0.1℃/1℃；

尺寸：840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高；

设备重量：约40/60KG；

◆ 光学系统

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm；
光源：外置LED环形光源/同轴光源；
CCD：200万像素/500万像素/1200万像素；

◆ 定位器

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm；
移动精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
线缆：同轴线/三轴线；

漏电精度：10pA/100fA/10fA；

固定探针：弹簧固定/管状固定；
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子；
针尖直径：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
针尖材质：钨钢；铍铜；

◆ 可选附件

加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；

屏蔽箱；

光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；

显微镜快速倾仰装置；

激光系统；

探针卡夹具；

标签：高低温探针台 Huace-6S-高低温探针台探针台

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