JSM-7610F低加速电压下的高分辨率元素分析

       JSM-7610F热场发射扫描电子显微镜配备了肖特基热场发射电子枪，因此可以获得很大的探针电流。下面是对各种样品的快速元素分析结果。

       STEM EDS分析DRAM

       重量 % 加速电压: 30 kV 探针电流: 2 nA 时间: 10 分钟

利用60mm² 和100mm²EDS检测器的结果。

       JSM-7610F使用2个EDS检测器，可以分析6 nm的线宽。

       SEM/EDS分析锂离子电容器(LiCoO₂)的阴极材料  

       净计数 

       加速电压 : 1 kV 探针电流 : 15 nA 时间 : 10 分钟

利用60 mm² 和100 mm²EDS检测器的结果 

       JSM-7610F使用2个EDS检测器，可以分析6 nm的线宽。 

       利用两个EDS检测器获得的图像无阴影效应。 此外，利用7610F的大探针电流，即使在低加速电压下也能在较短时间内完成分析。