JSM-7610F快速低加速电压下的高分辨率元素分析

       JSM-7610F 热场发射扫描电子显微镜配备了肖特基热场发射电子枪，因此可以获得很大的探针电流。下 面是对各种样品的快速元素分析结果。

       样品：镍基板上的石墨烯薄膜 

       加速电压：2 kV 

       探针电流 ： 10 nA 

       EDS检测器：30 mm²

       利用7610F的特长-低加速电压下的大探针电流，进行了120秒的快速元素面分布测试。 能分析浅表面上极薄的石墨烯。

       样品：硬质合金上的多层膜截面 

       加速电压：8 kV / 

       探针电流：38 nA  

       EDS检测器：10 mm²

       ^{样品制备：用CP制作截面} 

       ^{使用10 mm2的SDD检测器，在30秒的短时间内获得了元素面分布图。}