赛默飞世尔集成能谱场发射扫描电镜Apreo ChemiSEM参数

赛默飞世尔集成能谱场发射扫描电镜Apreo ChemiSEM参数

赛默飞世尔（Thermo Fisher Scientific）推出的Apreo ChemiSEM是一款集成了化学分析能力的高性能场发射扫描电镜（FESEM），广泛应用于材料科学、生物医药、纳米技术等领域的表征与研究。Apreo ChemiSEM凭借其先进的电子束分析技术，结合能谱（EDX）分析系统，提供了优异的成像质量和的元素成分分析，满足了科研、工业和实验室工作中对高分辨率和多功能分析的需求。本文将详细介绍Apreo ChemiSEM的主要参数、功能特点及应用场景，以帮助用户更好地了解该产品在科研与工业中的应用潜力。

产品参数与规格

• 电子枪类型：场发射电子枪（FEG）
• 加速电压范围：0.2 kV至30 kV
• 分辨率：
• 高分辨率模式：在1 kV加速电压下可达1.2 nm
• 标准模式：在30 kV加速电压下可达1.0 nm
• 样品尺寸：最大样品尺寸为100 mm x 100 mm
• 探测器：集成化的二次电子探测器（SE），背散射电子探测器（BSE）和能谱探测器（EDS）
• 能谱分析：能量分辨率为127 eV（Mn Kα线）
• 扫描模式：常规模式、高分辨率模式、低电压模式等
• 倾斜角度：最大可达30度
• 真空度：高真空（1 × 10⁻⁵ Pa）和低真空（100 Pa）
• 工作距离：常规工作距离为8 mm，可调节
• 样品台：具有8轴全自动控制，可进行X、Y、Z平移和旋转
• 电子束电流：高达20 nA
• 显微镜控制软件：Thermo Fisher提供的用户友好型软件，支持自动化操作和数据分析

产品特点

Apreo ChemiSEM结合了精确的电子束扫描与能谱分析技术，为用户提供出色的成像质量和元素分析能力。其主要特点包括：

1. 高分辨率成像能力 Apreo ChemiSEM采用场发射电子枪（FEG），使得设备在低电压下仍能提供出色的分辨率。在1 kV加速电压下，其分辨率可达到1.2纳米，适合进行纳米级材料的研究与表征。

   
   

2. 集成化能谱分析系统 该设备配备了先进的能量色散X射线谱仪（EDX），能够实时获取样品的元素组成信息，支持高效的元素定量与定性分析。这使得Apreo ChemiSEM在分析复杂样品时具有极大的优势，尤其是在材料科学和纳米技术中的应用。

   
   

3. 多探测器系统 Apreo ChemiSEM集成了二次电子探测器（SE）、背散射电子探测器（BSE）和能谱探测器（EDS）。二次电子探测器主要用于表面形貌的成像，背散射电子探测器用于元素对比的成像，而能谱探测器则支持元素分析。这种多探测器的配置使得用户能够快速切换不同模式，获得多维度的信息。

   
   

4. 低电压操作能力 低电压操作模式能够有效减小样品表面的电荷积累，特别适合于非导电样品的观察与分析。Apreo ChemiSEM支持低至0.2 kV的加速电压，极大地拓宽了设备的应用范围。

   
   

5. 高样品处理能力 该电镜具备较大的样品腔体，支持尺寸较大的样品进行分析。用户可以更方便地处理大尺寸或高粗糙度的样品，同时设备内置的自动化样品台控制系统，提升了操作的便利性和度。

   
   

6. 灵活的真空环境控制 Apreo ChemiSEM提供高真空和低真空两种工作模式。高真空模式适合常规样品的高分辨率成像，而低真空模式则可用于分析含水或非导电样品，避免样品损伤。

   
   

7. 用户友好型操作界面 赛默飞世尔提供的控制软件具有直观的操作界面，支持自动化的成像与分析流程。无论是新手还是科研人员，都能快速上手，提高工作效率。

   
   

应用领域

• 材料科学 在材料科学领域，Apreo ChemiSEM能够帮助研究人员观察材料的微观结构，分析元素分布及其相互作用。例如，在金属合金、复合材料等研究中，能够准确判断材料的成分均匀性及其微观结构特征。

  
  

• 纳米技术 纳米材料的研究需要极高的分辨率和细致的化学分析，Apreo ChemiSEM正是满足这一需求的理想工具。其高分辨率成像能够揭示纳米结构的细节，而集成的能谱系统则能精确分析纳米材料中的元素组成。

  
  

• 生物医学研究 在生物医学领域，Apreo ChemiSEM可以用于细胞、组织、纳米药物载体等样品的微观表征。通过扫描电镜观察细胞的表面结构或病理变化，结合元素分析，能够为疾病研究和药物开发提供宝贵的数据支持。

  
  

• 电子器件与半导体行业 半导体器件和电子元件的微观缺陷分析、材料表面形貌观察，以及元素分布分析，都是Apreo ChemiSEM的优势应用场景。这使得它成为半导体生产与质量控制中不可或缺的工具。

  
  

常见问题解答（FAQ）

Q1: Apreo ChemiSEM适用于哪些样品类型？ Apreo ChemiSEM适用于金属、陶瓷、塑料、半导体、矿物、复合材料、聚合物等多种材料，尤其在分析纳米级材料、非导电样品、复杂复合材料时表现尤为出色。

Q2: 能谱（EDX）分析的分辨率和精度如何？ Apreo ChemiSEM配备的能谱系统具有极高的元素分析精度，能量分辨率可达到127 eV（Mn Kα线），能够对样品中的元素进行定性和定量分析。

Q3: 在低电压模式下，Apreo ChemiSEM如何避免样品损伤？ Apreo ChemiSEM在低电压模式下能够显著降低电子束对样品的伤害，减少表面电荷积累，特别适合于观察非导电材料、薄膜或生物样品。

Q4: Apreo ChemiSEM的样品处理能力有多强？ Apreo ChemiSEM支持大尺寸为100 mm x 100 mm的样品，且具备8轴自动化样品台，能够处理复杂形态和较大尺寸的样品，提升操作灵活性和效率。

Apreo ChemiSEM凭借其的成像和分析能力，已经成为多个科研和工业领域不可或缺的工具。无论是在基础研究还是工业应用中，它都能够提供高精度的分析数据，为用户带来更高效、更精确的研究成果。