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CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列

销售范围售全国

入驻年限第10年

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CIF中试型等离子清洗机CPC-10系列核心参数

样品腔尺寸	L300xW215mm	样品腔容积	10.8L
射频功率	40KHz/13.56MHz

产品特点

CIF推出全新一代 CPC-10系列实验室型等离子体清洗设备，颠覆传统等离子体清洗设备设计理念。具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积，使用成本低，性价比高，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。

产品特点：

◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。

◆ PLC 工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

◆ 石英真空舱，真空管路系统采用 316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

◆ 采用质量流量计，实现对气体输入准控制，改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。

◆ HEPA 高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

◆ 60 度倾角操作界面设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。

◆ 顶置真空舱，上开盖设计，下压式铰链开关方式，开关盖方便。

◆ 采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

◆ 上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。

◆ 有效清洗面积大，可清洗最d直径 8 吋硅片。

◆ 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。