| 自动化: | 自动 | 样品腔尺寸: | L300xW215mm |
| 样品腔容积: | 10.8L | 射频功率: | 40KHz/13.56MHz |
产品特点：
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
◆ 石英真空舱，真空管路系统采用 316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
◆ 采用质量流量计，实现对气体输入精准控制，改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
◆ HEPA 高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
◆ 60 度倾角操作界面设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
◆ 顶置真空舱，上开盖设计，下压式铰链开关方式，开关盖方便。
◆ 采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
◆ 上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。
◆ 有效清洗面积大，可清洗最d直径 8 吋硅片。
◆ 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
技术参数：
型号 | CPC-10 | CPC-10plus | CPC-10M | CPC-10Mplus |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射频功率 | 0-600W | 0-300W | 0-600W | 0-300W |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 | ||
激发方式 | 电容式 | 电容式 | ||
气体控制 | 双浮子流量计 | 单路 MFC（可选两路） | ||
舱体尺寸 | L300xΦ215mm | L300xΦ215mm | ||
舱体容积 | 10.8L | 10.8L | ||
舱体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 | ||
有效处理尺寸 | L300xW215mm | L300xW215mm | ||
时间设定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
真空泵 | 抽速 8m³/h | 抽速 8m³/h | ||
气体稳定时间 | 1 分钟 | 1 分钟 | ||
真空度 | 100pa 以内 | 100pa 以内 | ||
电 源 | AC220V 50/60Hz 766/466W | AC220V 50/60Hz 752/452W | ||
产品尺寸 | L645xW550xH495mm | L645xW550xH495mm | ||
包装尺寸 | L750xW700xH720mm | L750xW700xH720mm | ||
整机重量 | 55kg | 55kg | ||
