匀胶机工艺过程分解

将各类胶液滴注于高速旋转的基片上，滴在基片上的胶液通过离心力在基片上均匀地涂覆的设备，被叫做匀胶机。溶胶的黏度以及匀胶机的转速对于膜的厚度起到决定性作用。

 匀胶机工艺过程分解

尽管每个工程师有着各不相同的要求，然而旋涂过程大体上包括四个不同的阶段:

1、往基底材料的表面注胶液滴，此能够使用一个注射器喷嘴往使用一个注射器喷嘴喷洒或者滴注待涂覆的溶液或者胶液。滴注的胶液量一般要比zui终涂覆在表面的胶液量多很多。

2、通过非常快以及非常短的加速使得基底材料的旋转速度到设定的期望的理想转速，

（1）以设定恒定的速率和时长旋转基底,利用胶液的挥发性来对薄膜的厚度进行改变。

（2）以设定恒定的速率和时长旋转基底,利用对胶液的黏度力的改变而使薄膜的厚度改变。

匀胶机使用方法

旋涂仪拆箱，将旋涂仪以及配套的说明书,导气管等附件从箱中取出来。

1、将真空泵的导气管、废液接收罐依次接上，排废气的软管位于废液接收罐上方。

2、充氮气，通常需要在氮气瓶或者实验室已有的氮气接口上连接一个口径为6毫米的细管。

3、气瓶的接口为箍橡皮管。需要换成转接头与旋涂仪的6mm的白色塑料管连接。

4、充氮气或者干燥空气的压力需要60-70PSI

5、将“START”键按下使程序启动，一直到完成。

6、将真空泵、气瓶和匀胶机开关依次关闭