化学气相沉积应用

化学气相沉积为一种化工技术，在衬底表面上含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质进行化学反应使得薄膜生成为该技术的主要方法。近几十年化学气相淀积这种对无机材料进行制备的新技术发展了起来。化学气相淀积法已经在各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的淀积，新晶体的研制以及物质的提纯方便得到了非常广泛地应用。这些材料既能够是碳化物、氮化物、硫化物、氧化物也能够为III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，并且能够利用气相掺杂的淀积过程来对它们的物理功能进行精确地控制。化学气相淀积已经变成无机合成化学的一个新领域。

化学气相沉积应用

气相沉积技术的应用在多种领域均有所涉及。只在对机械零件耐磨抗蚀性能的改善方面，其就具有十分广泛的用途。例如非常高的硬度和耐磨性为如用上述方法制备的TiN，TiC，Ti(CN)等薄膜所具备。能够说高速钢刀具的一场革命即为在高速钢刀具上镀制TiN膜。将1-3微米的TiN膜镀覆在刀具切削面上能够使其提高超过三倍的使用寿命。耐磨层大概在一些发达国家的30%-50%的不重磨刀具中加镀了。优异的耐磨性也在其他金属氧化物、碳化物、氮化物、立方氮化硼、类金刚石等膜，以及各种复合膜有所表现。良好的润滑、减磨效果为PVD和CVD法制备的Ag，Cu，Culn，AgPb等软金属及合金膜尤其是用溅射等方法镀制的MoS2，WS2及聚四氟乙烯膜等所具有。气相沉积获得的Al2O3，TiN等薄膜有着较为良好的耐蚀性，能够当作一些基体材料的保护膜，含有铬的非晶态膜具有更加高的耐蚀性。在航空工业的零件上，电镀制品已经被部分离子镀Al，Cu，Ti等薄膜所替代。在生产种已经应用多种用真空镀膜制备的抗热腐蚀合金镀层及进而发展的热障镀层。