-
-
非接触式掩膜对准机
- 品牌:上海孚光精仪
- 型号: fp-aligner
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 孚光精仪(香港)有限公司
-
企业性质
入驻年限第8年
营业执照
- 同类产品激光光刻机(3件)
-
为您推荐
- 详细介绍
这款非接触式掩膜对准机mask aligner 能够适合6英寸,8英寸,12英寸晶圆掩膜对准,是欧洲进口的高精度紫外曝光机.
非接触式掩膜对准机mask aligner全面满足科学研究,工艺级生产等多领域的应用。完全采用非接触式100%标定系统,对晶圆和掩膜没有伤害,大大提高间隙精度
非接触式掩膜对准机mask aligner适合各种电子元器件,包括半导体,LED,LD,MEMS,传感器等。Alignment Scope Objectives separation 15 ~ 75mm Total magnification 100X Illuminator for observation Red LED (l=633 nm) X, Y Movement range of stage ±5 mm Adjustment ±5° Utility Power source for main body and mercury lamp AC 100V 50/60Hz 15A Vacuum source Below 21.3 Kpa (-80 Kpa from atmospheric pressure) Exposure Unit Lens Integrator lens Mercury lamp 250W ultra-high pressure vapor mercury lamp Effective exposure area Max 100 mm Intensity distribution ±5% or less Intensity of illumination 20 mW/cm2 (405 nm) Exposure time control Digital timer and rotary solenoid Mercury Lamp Lighting Unit AC 110V