德国海德堡VPG 1600 型大尺寸掩膜版光刻机

终级型大尺寸掩膜版生产工具：VPG1600

   新型Volume High Generator(VPG)大尺寸图形发生器，是海德堡科技在大型光学系统上科技的创新与突破的里程碑。其利用独 家ZG的技术“宽阔的平行化曝光制程技术”而开发出来的。

   VPG是目前掩膜板大尺寸，大批量生产的可靠而又经济的解决方案，特别适用诸如：需要大量掩膜版的电子封装产业，彩色滤光片产业，以及其它特别需要大面积，而且高分辨率需求相关产业。另外，VPG还可以提供优异的影像质量与注记差异（实际掩膜板与资料的差异）。

   VPG 设计有可以搭载多样化不同尺寸的承载平台，例如：1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但这些系统都安装有气浮装置，可配置半自动或者全自动的上下版装置，并且可以选择zui高输出功率20W的UV激光发射头。微细化的写入步距，可以确保优越的粗糙度和连接边界。平台位置自动校正技术，可以进行优异的自我校正，以达到精 准的定位效果。