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反射式膜厚仪 QUASAR-R100系列
- 品牌:上海晶诺微
- 型号: QUASAR-R100
- 产地:闵行区
- 供应商报价: 面议
- 北京爱蛙科技有限公司 更新时间:2024-03-29 14:37:47
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企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
- 同类产品反射式膜厚仪R100(1件)
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- 详细介绍
QUASAR-R100 是一款体积小巧的光谱反射式膜厚、折射率测量仪器,操作简单,极易上手,应用广泛,快速准确的提供各种薄膜厚度的测量,如氧化物、氮化物、多晶硅、非晶硅、聚酰亚胺、透明导电层、光刻胶等介质薄膜、半导体薄膜以及各种涂层。
产品特点
多参数测量
可测量材料厚度、折射率(Refractive Index)、 消光系数(Extinction Coefficient)和反射率。
各种形状样品测量
可测量例如4~8英寸的晶圆、方形样品或其他各种不规则形状样品。
软件功能丰富
友善的用户界面以及灵活丰富的软件功能,各种丰富的数据分析及查看功能。
简单、易用
测量流程简单,用户极易上手建立测量程式。
产品参数
★Si基底上对厚度约500nm的SiO2薄膜样品连续测量30次数据的标准偏差
定制功能
可根据客户需求搭配自动运动平台
可根据客户需求配置小光斑