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仪器/ 产品中心/ 物性测试仪器/ 测厚仪/ 薄膜测厚仪/ 反射式膜厚仪 QUASAR-R100系列
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反射式膜厚仪 QUASAR-R100系列

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详细介绍

 QUASAR-R100 是一款体积小巧的光谱反射式膜厚、折射率测量仪器,操作简单,极易上手,应用广泛,快速准确的提供各种薄膜厚度的测量,如氧化物、氮化物、多晶硅、非晶硅、聚酰亚胺、透明导电层、光刻胶等介质薄膜、半导体薄膜以及各种涂层。

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产品特点

 

多参数测量

可测量材料厚度、折射率(Refractive Index)、 消光系数(Extinction Coefficient)和反射率。

 

各种形状样品测量

可测量例如4~8英寸的晶圆、方形样品或其他各种不规则形状样品。

 

软件功能丰富

友善的用户界面以及灵活丰富的软件功能,各种丰富的数据分析及查看功能。

 

简单、易用

测量流程简单,用户极易上手建立测量程式。

 

产品参数

 

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★Si基底上对厚度约500nm的SiO2薄膜样品连续测量30次数据的标准偏差

 

定制功能

  • 可根据客户需求搭配自动运动平台

  • 可根据客户需求配置小光斑



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