扩散泵改进措施

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵改进措施

扩散泵系统之所以压强不稳定，既有内部原因也有外部原因。

内部原因：

1、喷咀内的液滴

2、蒸汽冷凝

3、锅炉周围泄漏，要对泵体进行检漏。

4.泵油不稳定地沸腾或者爆沸

5、处于导流管外部的油的沸腾。

6、轻气体压缩比较低。

外部原因：

1、前级耐压比较高。

2、阱除霜

3、阱内冷冻层的破裂

4、来源于橡胶垫圈的气泡。

5、由障板上滴落的泵油。

由于锅炉内泵油的沸腾不稳定，从而导致喷出的蒸汽射流的密度发生波动，抽速和轻气体压缩比也因此会出现变动。锅炉也许会一时偏热，从而会造成有一段时间会爆沸，有翼片的锅炉为油扩散泵所采用，使内表面积增加，使热流密度降低，爆沸会由于功率的增加而消除或者减低到zui小，此为一种补救的方法。

在真空中，自爆升腾会因为qiang力的爆沸所引起。对于喷咀，会导致瞬间堵塞，使汽流波动引起。将防爆板加到泵内，能够使爆沸的影响得以避免。由于对轻气体有着较低的压缩比，能够使压力的不稳定引起。对功率和泵的级数进行增加时有所帮助的。将侧面出口喷射喷咀和扩压器设置在扩散泵中，能够降低扩散泵的不稳定性到zui小。顶喷咀帽偏冷会造成不连续的蒸汽流，造成压力的不稳定。将顶喷咀的温度设法保持住，使得其不过冷。