扩散泵

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。下面就让小编带您了解一下扩散泵的国内以及国外的分类标准。

扩散泵分类

国外分类标准

外国公司的油扩散泵通过按照用途、配套的辅助部件（如挡板）的差异来对系列进行划分，DIP系列是Leybold公司的，DIF系列和DIFC系列是Pfeiffer公司的。Edwards公司根据用途包括科研、工来和彩管行业用泵，有Standard DIFFSTAIC、Cryo-cooled DIFFSTAIC、HT和EO系列。小口径泵和大口径泵、通用型和专用型泵以及科研用泵和工业用泵通常被各公司区别开来。一些公司将泵、阱、阀、冷却和电控集合为一体，用户的使用方便了。

国内分类标准

油扩散泵在新国家推荐标准下包括KT系列（凸腔泵）以及K系列（直腔泵）两个系列，泵的外形差异为对这两个系列进行区别的主要依据。实际上在市场现存的产品除了上述两类以外，KC系列（宽区域泵）、KTD系列（凸腔低返油泵）以及KA系列（直腔矮泵）也包括其中。根据帽、喷嘴数量能够分成5级、4级、3级等形式。

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵工作原理

油扩散泵是利用喷嘴中高速喷出的油蒸气喷流的动量来对气体进行输运的真空泵。其在此种意义上应当被叫做蒸气喷流泵，但是发明人盖却对气体向蒸气流扩散混入的过程进行强调，而将其命名为扩散泵，一直到现在都使用该名称。使用水银使蒸气形成的，被称为水银扩散泵，使用油使得蒸汽形成的被称为油扩散泵。由于水银不能够较为便利地进行操作并且会有害于人体，如今已经不太用了。

在真空中扩散泵油锅中的泵油加热到大概两百摄氏度的沸腾温度，大量的油蒸气由此产生。油蒸气通过导流管经过各级喷嘴定向高速喷出。因为扩散泵进气口周围被抽气体的分压力比蒸气流中该气体的分压力要高，因此被抽气体分子就往蒸气流中持续地进行扩散。油蒸气向着被抽气体分子撞击，沿蒸气流束的方向，被抽气体分子高速地进行运动。

到目前为止，获得高真空的zui为主要以及zui为普遍的工具之一，即为扩散泵，一般指的是油扩散泵。扩散泵为一种次级泵，其需要机械泵来被用作前级泵。油扩散泵为一种真空泵，其通过低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气，1-4e到1-5e帕为此种泵的极限真空，1-e到1-4e为工作压力范围。几十至十几万升/秒为抽速范围。油扩散泵为高真空获取的主要设备，其在真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中得到了非常广泛地应用。

扩散泵主要问题

油扩散泵真空系统的污染物来源如下：

1、抽气系统中密封材料放气所导致的污染。尤其是人造橡胶密封圈，密封油脂，润滑油等，所导致的污染也同样的严重。

2、当泵停了以后将大气放掉，使得水蒸汽，油烟等在空气中粘污在真空零部件上，导致了真空系统的污染。

3、前级油封机械泵油的返流。此问题相当的严重，当入口具有比较高的压力的时候，在到达过渡区压力时，机械泵的油蒸汽就能够直接地往扩散泵内进入，直接地污染系统。机械泵返油为许多真空工艺过程的污染的来源。当将机械泵停掉时，如果往泵内放大气不及时，能够直接往扩散泵油锅内返还机械泵油。当启动扩散泵时会更加严重地污染系统。

4、zui为重大的污染源为扩散泵油蒸汽的返流。

5、在装配时使用有油的手拿系统中的零部件。使用有油污的手套拿，如此样粘染的有机分子能够造成系统内的污染。

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵使用方法

必须在机械真空泵的配合下，油扩散真空泵才能够进行工作，在使用以前，shou先洗净、烘干扩散泵，之后再从弯管管口注入真空硅油或其它低蒸气压油。然而不可以往泵口直接倒油，而是取一长管漏斗并且往泵口内插入使油从漏斗往泵内倒入，避免在捕集器内积存油。根据不同规格大小来对用油量进行规定。通常有回油管的泵，应当使得油缸从油管的下口没过。如果油装的过多，那么或多或少会降低泵的性能。直接焊接泵顶端的支管以及玻璃系统并且使用铁架固定，用真空橡皮管与机械泵连接弯管的出口嘴。为了方便气流控制和防护，zui好将一只安全瓶和一只真空活塞加用于扩散泵与机械泵之间。在预真空达到1 只10-2mmHg 时或机械泵内具有规律的“得得得”声发出时才能够将电源接通加热。在加热以前，一定要shou先打开冷却水源才可以使油蒸气反复凝结为液体持续循环工作。

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵结构

喷射喷嘴、冷却系统、扩散器、加热器、油锅、蒸气导管、扩散喷嘴以及泵体等部分共同组成了油扩散泵。当油扩散泵使用前级泵预抽到比1帕真空还要低的时候，油锅能够开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子往蒸气流中扩散，和定向运动的油蒸气分子发生碰撞。所以动量由气体分子所获得，与油蒸气分子运动方向相同的定向流产生。到前级，油蒸气被冷凝，气体分子被释放出来，也就被前级泵抽走而使得抽气目的达到。

扩散泵保养注意事项

1、橡胶应当可靠地在连接密封处进行密封。

2、如果暂时不使用扩散泵，在保管期间应当在室温保持真空状态，防止零件腐蚀以及泵油污染，并且吹净冷却水套内的剩水。

3、泵的性能在长期的工作以后会慢慢地变坏，应当对油量是否减少或氧化进行检查，在必要的时候对油量进行增加，在对新油进行更换时需要清洗以后再烘干。

4、油扩散泵在进行安装或者维修的时候应当垂直地进行放置，使泵芯部件处于正常工作状态。

5、在对零件及泵腔进行清洗的时候，shou先使用航空汽油清洗，之后使用丝绸蘸yi醚或丙酮进行擦洗，并且放到80-100摄氏度下进行烘干或者使用电吹风进行吹干。

6、在清洗结束以后，根据顺序进行装配，值得注意的是需要使泵芯垂直于泵底并且和泵腔同心得到保持，需要根据原有的要求将各级喷嘴间隙调整好。

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵真空操作规程

1、对真空系统各部分进行检查，对系统的气路结构加以熟悉，对真空系统各元件的作用以及操作部分的电路联接加以了解。

2、将放气阀门关闭掉，将机械泵启动，对系统进行抽气，并且系统各部分随时通过火花检漏器进行检漏。

3、当系统真空度和油扩散泵的前置压强相同时，对扩散泵进行启动，将加热电流慢慢升高到额定值。在对扩散泵进行启动前，冷却水必须shou先开。

4、扩散泵正常工作以后，量测系统的真空度采用火花检漏器来进行判断，一直到超过1-3e托，才可以对电离真空计进行使用。在使用的时候首先对规管除气，之后再对真空度进行测量。

5、对系统进行烘烤去气处理。对于玻璃系统来说，400-450摄氏度为硬玻璃烘烤温度。350-400摄氏度为软玻璃烘烤温度。去气时间由具体要求决定，通常一到两个小时。在结束去气之后，真空度依然不能够达到要求。对于漏气与否的判断应当使用电离计记P-t曲线。也能够采用丙酮、酒精等对可疑处进行涂抹。通过对表针摆动的观察来对漏孔进行发现。如果不能够良好地将气去掉，应当进一步进行烘烤，来使去气时间加长。新系统抽气的时间通常需要比较长才可以使预期的真空度达到。真空度一直上不去，那么就需要对系统设计、安装合理与否、被抽容器清洁与否、是否有脏物在维修时被带入，放气源是否多等其他因素进行留心。