扩散泵提升方法

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵提升方法

泵油返流造成被抽系统污染为油扩散泵zui为致命的缺点。通过大量的研究。现代扩散泵因为挡油帽、障板和冷阱等的增加措施，从而大大地降低了扩散泵的返油率。

一定程度的返流为所有的油扩散泵均会发生的现象。少量残余的碳氢化合物为返流的气体。返流的来源分为两个不同的性质，泵的主要的返流为泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动，被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发构成其次要的返流。

为了将主要的返流减小到zui低，需要将锅炉和喷咀设计利用好。将水冷挡油帽设置于顶喷咀上方。其已经变成顶喷咀专用的拦截返油的水冷装置。因为持续地改进冷帽结构，大大地降低了主要返流。

对于水冷挡油帽的利用，除了稍微损失泵的抽速以外，能够降低返油率。对于非常多的应用场合是被允许的。如果将管道、阀门和弯管附加在系统上，能够使真空室的返流下降千分之一到十分之一。如果对水冷式的光学密闭的障板进行利用，能够对主要返流进行限制。然而降低泵的抽速大概一半。