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扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一,通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕,工作压力范围为10-1~10-4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
扩散泵原理
在机械真空泵导致预真空1 又10 一ZmrnHg 的条件下,真空扩散泵内的油用电炉开始加热而使得蒸气流形成,沿着中部泵囱上升,从顶端和中部的各级喷口处喷出,气体分子在蒸气流的带动下往泵的下端传送。冷却的油蒸气又凝结为液体向着泵底回流继续工作,气体分子在泵下端集结,直到密度一定时,就会由机械真空泵抽出,会不断减少容器内的气体分子,慢慢地使高真空形成。
扩散泵注意事项
蒸气源不可以使用汞来将油替代掉,由于汞分子比油分子小15倍,其具有较为宽大的喷口,对于汞蒸气工作条件不合适。在进行清洗时,如果无水乙醇、丙酮之类被使用来作为脱水剂,必须先将扩散泵抽气,只有抽尽在泵内有机溶液残留的气体分子才可以进行焊接,不然,此类残存的有机溶液,可能给会导致燃烧,造成仪器包扎损坏。在进行使用的时候,微米防止真空度的获得受到漏气的影响,必须先进行检漏,为了防止泵芯震坏,在清洗或搬动时禁止强烈振荡。在进行加热操作时,不可以在加热槽上溅到冷却水,不然会导致炸裂。
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