扩散泵分类和影响因素

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵分类

直式油扩散泵通常按照结构包括三级式、四级式。

扩散泵造型

泵体为直式圆筒形的玻璃外壳，其和泵内的冷水壁、盘形水冷挡板、伞形喷咀以及泵囱等共同构成一个整体，将弯形管接在泵体的侧边，进气口是泵顶端的支管。

扩散泵性能影响因素

对扩散泵性能产生影响的主要因素包括：

1、扩散泵油的裂化分解，为了避免裂化分解，需要采用合格的扩散泵

2、扩散泵脏化，在泵内留有污染物重复循环，应当清洗扩散泵并且对泵油进行更换。

3、扩散泵油蒸气的返流，将冷阱加装于真空系统上，可以对油蒸气的返流进行有效的遏制。

4、气体分子的反扩散，利用将罗茨泵或双机械泵增加在高真空机组中，将前级泵的抽速增大，将扩散泵出气口的压力降低，如此，不但能够使得气体分子的反扩散减少并且还可以使得油蒸气的返流减少。

扩散泵用途

扩散泵在科研、生产、教学等各个领域中得到了非常广泛的应用，尤其是如电子管、X 光管以及半导体单晶硅的冶炼、提纯，高沸点的油脂蒸馏、提纯、分离，日光灯、保温瓶生产等作真空抽气的仪器的电子工业。