新品发布 | AFM5500M II 型扫描探针显微镜

为增强SEM与AFM等分析设备的联用功能，满足从研发到质量控制的广泛需求，日立高新技术株式会社（以下简称“日立高新技术”）宣布推出新的扫描探针显微镜系统“AFM5500MII”（以下简称“本产品”），该系统提高了使用多种分析设备观察同一样品时的观察精度和可操作性。

*1，AFM (AFM Atomic Force Microscope)：原子力显微镜。是扫描探针显微镜(SPM : Scanning Probe Microscope)的一种

*2，SEM (Scanning Electron Microscope)：扫描电子显微镜

*3，CSI (Coherence Scanning Interferometry)：白光干涉仪

AFM是一种测量和分析设备，它使用尖端为几纳米（1纳米：1/1,000,000毫米）的探针扫描样品表面，观察样品表面的三维形貌并评估纳米级的物性分布。AFM的使用范围正在扩大到广泛的领域，包括半导体、聚合物和生物体等的研发和质量控制，近年来还被用于电子设备节能相关技术的开发。

日立高新技术一直致力于提供易于使用且适用于质量控制等领域的AFM，可自动执行观察所需的所有设置，即使对于不熟悉操作的用户也能轻松获取高精度数据。近年来，电子元件、精密零件和高性能材料的小型化、复杂化和多层化不断进步，该设备与多种分析设备的联用在缺陷评估和故障分析等应用领域的需求正在增加。

AFM marking能在AFM测量的区域周围创建标记，SEM或CSI通过观察这些标记就能定位AFM测量位置，从而实现多种设备同一区域观察。即使样品在不同显微手段下有差异或不同设备观察区域的大小不同，都可以可靠地捕获同一测量位置，从而简化观察并实现高精度测量。

除过去使用的调幅开尔文力显微镜（AM-KFM）外，还增加了一种新的表面电位测量模式，即调频开尔文力显微镜（FM-KFM）。与AM-KFM相比，FM-KFM在探针尖端具有更高的检测灵敏度和更好的定量分析能力。只需单击一下，就可以在AM-KFM和FM-KFM之间切换，前者适用于测量单一材料的电位势，后者则适用于准确定量测量具有精细结构的复合材料。它有助于分析以半导体和金属材料为主的样品，这些样品通常使用AFM和SEM的组合进行分析。

标配的故障诊断功能让使用者能够准确掌握设备各部分工作状态，保证设备稳定且高性能地工作。

展望未来，日立高新技术将继续完善其“解析、分析”的核心技术，致力于打造解决客户问题的解决方案平台和专用设备，为解决环境问题、强韧、安全和安心等社会问题和客户课题做出贡献。

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