美国 Semiconsoft 反射膜厚仪MProbe

产品概述

反射膜厚仪是一种非接触式、无损的、快速的光学薄膜厚度测量技术。

测量范围: 1 nm - 1 mm

波长范围: 200 nm -8000 nm

光斑尺寸:2um -3 um

标准配置中包含：

1. 主机(光谱仪，光源，电线)

2. 反射光纤

3. 样品台及光纤适配器

4. TFCompanion软件

5. 校准套装

6. 测试样品，200nm晶圆

广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中：

半导体晶圆，薄膜太阳能电池，液晶平板，触摸屛，光学镀膜，聚合物薄膜等

半导体制造：· 光刻胶          · 氧化物                · 氮化物

光学镀膜：   · 硬涂层          · 抗反射涂层         · 滤波片

生物医学：  · 生物膜厚度    · 硝化纤维