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飞行时间二次离子质谱仪PHI nanoTOF3

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飞行时间二次离子质谱仪PHI nanoTOF3 核心参数
仪器分类: 飞行时间
详细介绍

简介

nanoTOF 3是PHI最.新一代的TOF-SIMS,擁有全新外观、紧凑设计,以及更强性能。

QQ截图20220627092633.png

 

关键技术

  • 实现高精度测量的一次离子枪。

  • 三重离子束聚焦质量分析器,复杂形貌样品的高精度分析。

  • TOF-SIMS自动多样品测试。

  • 独特的离子束技术。

  • 通过平行成像MS/MS进行分子结构分析。

  • 可靠的远程访问功能,即使在远离设备的情况下也能进行“测量”和“诊断”。

  • 多样化配置。

 

实现高精度测量的一次离子枪

先进的离子束技术,实现高空间分辨率

PHI nanoTOF3 能够提供高质量分辨和高空间分辨的TOF-SIMS分 析:在高质量分辨模式下,其空间分辨率优于500 nm;在高空间分 辨模式下,其空间分辨模式优于50 nm。通过结合高强度离子源、 高精度脉冲组件和高分辨率质量分析器,可以实现低噪声、高灵敏度和高质量分辨率的测量。


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三重离子束聚焦质量分析器(TRIFT),复杂形貌样品的高精度分析

三重离子束聚焦质量分析器,适用于宽带通能量、宽立体接受角度、各种形貌样品分析

主离子束激发的二次离子会以不同角度和能量从样品表面飞出,特别是对于有高度差异和形貌不规则的样品,即使相同的二次离子在分析器中会存在飞行时间上的差异,因此导致质量分辨率变差,并对谱峰形状和背景产生影响。

TRIFT质量分析器可以同时对二次离子发射角度和能量进行校正,保证相同二次离子的飞行时间一致,所以TRIFT兼顾了高质量分辨率和高检测灵敏度优势,对于不平整样品的成像可以减少阴影效应

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TOF-SIMS自动多样品测试

Queue Editor实现多样品自动测试

您可以轻松创建和编辑包括质谱分析、成像分析和深度剖析在内的所有测试方案。测试方案中除了测试条件外,还包括测试位置的信息。在您创建测试序列后,程序可根据测试方案自动进行多样品多点分析。

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全自动样品传送系统

PHI nanoTOF3 配置了在XPS的Q系列上表现优异的全自动样品传送系统:最大样品尺寸可达100 mmx100 mm,而且分析室标配内置样品托停放装置;结合分析序列编辑器(Queue Editor), 可以实现对大量样品的全自动连续测试。

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独特的离子束技术

采用新开发的脉冲氩离子枪,获得专利的自动荷电双束中和技术

TOF-SIMS测试的大部分样品为绝缘样品,而绝缘样品表面通常有荷电效应。PHI nanoTOF3 采用自动荷电双束中和技术,通过同时发射低能量电子束和低能量氩离子束,可实现对任何类型和各种形貌的绝缘材料的真正自动荷电中和,无需额外的人为操作。

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标配离子枪新增FIB(Focused Ion Beam)功能

在PHI nanoTOF3 中,液态金属离子枪增加了FIB处理新功能,
可以使用单个离子枪进行横截面处理和横截面TOF-SIMS分析。
通过操作计算机,可以快速轻松地完成从FIB处理到TOF-SIMS
分析的全过程。此外,也具备冷却条件下FIB加工能力。

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通过平行成像MS/MS进行分子结构分析

MS/MS平行成像同时采集MS1/MS2数据(专利)

在TOF-SIMS测试中,MS1质量分析分析器接收从样品表面产生的所有二次离子碎片,对于质量数接近的大分子离子,MS1谱图难以区分。通过安装串联质谱MS2,对于特定离子进行碰撞诱导解离生产特征离子碎片,MS2谱图可以实现对分子结构的进一步鉴定。

PHI nanoTOF3 具备串联质谱MS/MS平行成像功能,可以同时 获取分析区域的MS1和MS2数据,为分子结构的精准分析提供了 强有力的工具。

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可靠的远程访问功能,即使在远离设备的情况下也能进行“测量”和“诊断”

远程访问实现对仪器的远程控制

PHI nanoTOF3 允许通过局域网或互联网访问仪器。只需将样品 台放入进样室,就可以对进样、换样、测试和分析等所有操作进 行远程控制。我们的专业人员可以对仪器进行远程诊断*。

*如需远程诊断,请联系我们的客户服务人员。

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多样化的配置

  • 串联质谱

  • 氩团簇离子源

  • 氩/氧气离子源

  • 铯离子源

  • 碳60离子源

  • 样品台高/低温模组

  • 真空传输管

  • 惰性气氛手套箱

  • 观察曲面样品专用样品托

  • 通氧模组

  • 聚焦离子束

  • 聚焦离子束软件

  • 离线数据处理软件

  • 静态质谱图库







产品优势
PHI第7代TOF-SIMS
・全新外观,时尚设计,设备占地面积减少,更低功耗
・全新设计的全自动样品台,可实现可靠、高通量-的样品处理和真空停放
・配置新型铋源LMIG团簇离子枪,具有更高的空间分辨率
获得专利的平行成像MS/MS质谱仪
・无论样品表面平整还是粗糙,PHI的第7代三重聚焦质量分析器均能胜任
・并行成像MS/MS将TOF-SIMS谱峰识别从“我认为”变为“我知道!”
・可对丰度低于20 ppm的质谱峰进行无损和高灵敏度串联质谱分析
获得专利的一键双束中和技术
・全新的脉冲低能电子和低能Ar+离子双束中和技术,可在正、负离子模式下实现可靠且真正的一键中和
可靠的自动化和远程操作
・高度可配置的序列分析系统,可用于自动无人值守分析,以获得最大的分析效率
・可完全远程操作和高级远程诊断
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