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MicroChem 电子束光刻胶 PMMA

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产品特点

PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一种通用的聚合材料,适用于许多成像和非成像微电子系统。PMMA光刻胶是将PMMA聚合物溶解在诸如苯甲醚之类的安全溶剂中,曝光会导致聚合物链断裂。PMMAZ常用作直写式电子束的高分辨率正性光刻胶,它具有极高的分辨率,易于处理和出色的薄膜特性。PMMA还可用作晶圆薄化的保护涂层,粘结粘合剂和刻蚀层。

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