「德国尤尼坦大尺寸/快速退火炉(12英寸)/适合光伏样品 VPO-300」价格、参数、图片

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产品特点：

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。

产品详情：

德国尤尼坦大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品 VPO-300

产品特点
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
详细介绍
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。
仪器特点：
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；

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