日本SAMCO RIE-350iPC 等离子蚀刻系统
1. 产品概述
RIE-350iPC是一种盒式装载电感耦合等离子体(ICP)蚀刻设备，可处理多达ø350毫米的载盘，用于多晶圆批量处理。该系统为各种蚀刻应用提供了坚固可靠的硬件和卓越的工艺控制，具有较高的生产率，如功率器件、微型LED、VCSEL、LD、电容器和射频滤波器。
2. 设备用途/原理
GaN、GaAs、InP和SiC的高精度蚀刻，SiN和SiO2的蚀刻，电介质和金属的蚀刻，用于HBLED的PSS（图案化蓝宝石衬底）加工。
3. 设备特点
大加工范围：ø350 mm (ø3" x 12, ø4" x 8, ø12" x 1)。先进的ICP源HSTC™（Hyper Symmetrical Tornado Coil）能有效地提供均匀的高密度等离子体，并在大面积上具有优异的蚀刻均匀性。对称的疏散设计与TMP相结合，形成了高效的流动。优化的气体歧管，提供工艺气体的均匀性。可选的光学/干涉式端点检测系统可实现对多个工艺运行的精确蚀刻深度控制。
报价：面议
已咨询36次日本SAMCO
报价：面议
已咨询597次反应离子刻蚀
报价：面议
已咨询945次等离子蚀刻机
报价：面议
已咨询1159次等离子蚀刻机
报价：￥5000000
已咨询117次德国 Sentech
报价：面议
已咨询2234次德国 Sentech
报价：面议
已咨询4158次刻蚀机
报价：面议
已咨询1033次德国 Sentech
MKW系列磁探针站是目前市场上能够提供任意二维或三维外加磁场方向的探针站，是自旋电子器件表征和自旋电子研究的解决方案。
HELIOS是一款自动化飞秒瞬态吸收光谱仪，它设计用于各种飞秒放大激光器，包括高能量Ti：Sapphire飞秒放大器和高重复率Yb飞秒放大器。
M91是一款革命性的一体式霍尔分析仪，采用Lake Shore全新的FastHall测量专利技术（专利号：9797965和10073151），从根本上改变了霍尔效应的测量方式，在测量过程中无需翻转磁场，尤其是在使用强磁场超导磁体或测量极低迁移率材料时，可以实现更快、更精确的测量。
FLS1000是一款测量光致发光的模块化光谱仪，专注于稳态及时间分辨光谱测试。系统具有超高的灵敏度，可以根据需要从紫外可见到中红外光谱范围进行灵活配置，寿命测试的时间范围覆盖从皮秒到秒的12个数量级。
FS5是爱丁堡仪器打造的新一代紧凑型一体化荧光光谱仪。仪器基于高标准进行设计，具有高灵敏度，快速数据获取，操作简单的特点，同时还有丰富的样品支架可以进行选择。
爱丁堡LP980是LP920激光闪光光解光谱仪的升级型号，使用Nd:YAG激光器或者OPO作为强脉冲激发光源，高能量的氙灯作为探测/背景光源，进行瞬态吸收光谱的测试。
营业执照已审核
分享
收藏
沪公网安备 31011502008050号