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德国Sentech 等离子刻蚀机 SI 500 RIE

等离子刻蚀机

参考价格￥5000000 (具体成交价以合同协议为准)

品牌德国Sentech 产地欧洲德国更新时间2026-10-11 12:09:35

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

售全国入驻：8年等级：金牌

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产品特点：

德国Sentech 等离子刻蚀机 SI 500 RIE，RIE 蚀刻机，上限 8 英寸晶圆, 带可选的 ICP 源扩展

产品详情：

德国Sentech 等离子刻蚀机 SI 500 RIE

SI 500 RIE

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基板的背面冷却保证了 +/-1K的温度稳定性和/或将样品的温度保持在低值。

SI 500 CCP

RIE 蚀刻机，带可选的 ICP 源扩展

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SI 500 RIE

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·旋转前级泵

·磁电机气动负载锁

·12/16 根燃气管线

·带机械晶圆夹紧的电极

·最大 8 英寸晶圆

·OES、SLI 可选

SI 500 CCP

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SI 500 RIE.png

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