「德国Sentech 等离子刻蚀机 SI 500 RIE」价格、参数、图片

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产品特点：

德国Sentech 等离子刻蚀机 SI 500 RIE，RIE 蚀刻机，最大 8 英寸晶圆, 带可选的 ICP 源扩展

产品详情：

德国Sentech 等离子刻蚀机 SI 500 RIE

SI 500 RIE

带 He 背面冷却的衬底电极

基板的背面冷却保证了 +/-1K的温度稳定性和/或将样品的温度保持在低值。

SI 500 CCP

RIE 蚀刻机，带可选的 ICP 源扩展

技术和特点：

SI 500 RIE

·600 瓦，13.56 MHz

·360 升/秒涡轮分子泵

·旋转前级泵

·磁电机气动负载锁

·12/16 根燃气管线

·带机械晶圆夹紧的电极

·最大 8 英寸晶圆

·OES、SLI 可选

SI 500 CCP

1360 l/s 涡轮分子泵

SI 500 RIE.png

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