「SYSKEY紧凑式溅射系统 Compact Sputter」价格、参数、图片

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产品特点：

Syskey 紧凑式溅射系统 Compact Sputter，灵活的基板尺寸，最大可达6英寸，基板架加热温度最高可达500℃，出色的薄膜均匀性，误差小于±3%，最多可配备5个6英寸磁控溅射源（可选配3或4个），支持射频、直流或脉冲直流电源，最多可支持3条气体管路，支持顺序沉积和共沉积。

产品详情：

Syskey 紧凑式溅射系统 Compact Sputter

占地面积紧凑的溅射系统，可放置在1平方米以内的区域。尽管设计紧凑，其主要功能与我们标准的高真空溅射系统几乎相同。全自动操作和配方运行模式可支持最基础的应用。

配置与优势：

- 灵活的基板尺寸，最大可达6英寸
- 基板架加热温度最高可达500℃
- 出色的薄膜均匀性，误差小于±3%
- 最多可配备5个6英寸磁控溅射源（可选配3或4个）
- 支持射频、直流或脉冲直流电源
- 最多可支持3条气体管路
- 支持顺序沉积和共沉积
- 可选配负载锁定腔室

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