URE-2000S/A8 型紫外双面光刻机

主要技术参数

。曝光面积：8 英寸

。曝光波长：365nm： 15mW/cm，405nm：15-30mW/cm2

。分辨力：1  μm 

。对准精度：±2   μm （双面,片厚 0.8mm）±0.8  μm （单面）

。掩模尺寸：4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸

。样片尺寸：3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸，厚度 0.1mm—2mm

。曝光方式：定时（倒 计时方式）和定剂量

。调平接触压力通过传感器保证重复

。 数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接口

。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最 大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

                                          物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

                                          目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-200mm

。照明不均匀性：5%（Ф200mm 范围）

。掩模相对于样片运动行程：

              X：±5mm; Y：±5mm; Thelta：±6 度

。最 大胶厚：500   μm （SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：2°

。具有循环水冷却系统

。汞灯功率：1000W（直流，进口）

外形尺寸：1400mm（长）x1200mm(宽) x2000mm（高）

设备构成与配置明细

设备主要由均匀照明曝光系统（曝光头）、对准工件台系统、双目双视场显微镜系统、底面 CCD 对准系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。

（1）曝光头系统包括：

。冷光椭球镜

。1000 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇.

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 余个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台系统包括：

。掩模样片相对运动台（XY）

。转动台（θ）

。样片自动调平机构

。样片调焦机构承片台 4 个 （3 英寸、4 英寸，6 英寸，8 英寸）

。掩模架 4 个 （4 英寸、5 英寸，7 英寸，9 英寸）

。掩模翻转及旋转机构

（3）对准显微镜（可选择带 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）系统包括：

。LED 照明及配套电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 及光学成像系统

。XYZ 底面对准工件台（两套）

（4）底面 CCD 对准系统

。LED 照明及配套电源

。CCD 及光学成像系统(2 套)

。数据采集卡

（5）电控系统

。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（22 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件（选配）

。真空泵一台（无油静音型）

。空压机一台（无油静音型）

。恒温循环水冷却系统

。管道