中科光电URE-2000/30D 型（定制）紫外光刻机

URE-2000/30D型（定制）紫外光刻机

1．技术参数 

 曝光面积：4 英寸

曝光波长 1：365nm 或 405nm（可切换，更换滤光片）， 

曝光波长 2：248nm 

 曝光位置 1 和曝光位置 2 自动切换 

分辨力：0.8-1m

 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（标准配置，其他尺寸可定做）

  样片尺寸：直径 Φ10mm-- Φ100mm 或者 15mm*15mm-100mm*100mm(标准配置，其他尺寸可定 做），可适应厚度为 0.1mm--5mm(utmost可扩展为 15mm) 

 曝光方式：定时（倒 计时方式）

 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能 

 照明不均匀性：3%（Φ100mm 范围） 

调平接触压力通过传感器保证重复

  数字设定对准间隙和曝光间隙 

 掩模相对于样片运动行程： X: 优于±5mm; Y: 优于±5mm;

优于±6º 

 utmost焦厚：400um（SU8 胶，用户提供检测条件）

  光源平行性：＜3º

  曝光能量密度 1：＞20mW/cm²（365 或 405nm），照明面温度<35º

  曝光能量密度 2：＞3mw/cm²（248nm） 

 单层曝光一键完成 

 采用球气浮自动找平

  汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）

 2．外形尺寸：约 1400mm（长）*900mm(宽) *1800mm（高）  

3．配置 设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设 备构成。