URE-2000/35A 型紫外单面光刻机

1．技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。

 

。曝光面积：6 英寸

。曝光波长：365nm

。分辨力：1-1.2μm（胶厚 2 μm的正胶）

。对准精度：±0.8μm

。掩模样片整体运动范围：X：15mm;  Y:15mm

。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

。样片尺寸：直径 ±15mm-- ±150mm（各种不规则片） 21厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式：定时（倒  计时方式）和定剂量

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

。照明不均匀性： 6%（±150mm 范围）

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最 大倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍

           物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

           目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接口

。掩模相对于样片运动行程：

  X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6º

。最 大焦厚：350μm（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3.5 º

。曝光能量密度：>15mW/cm2,照明面温度<35 º

。单层曝光一键完成

。采用球气浮自动找平

。汞灯功率：350W（直流，进口）

 

3．外形尺寸：1200mm（长）x900mm(宽) x1750mm（高）

 

 

。冷光椭球镜

。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

 

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,三点自动完成22

。样片调焦机构，电机自动调

。基片抽拉式上下机构

。承片台 4 个：15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸（可按用户要求增减）

。掩模夹 4 个：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸（可按用户要求增减）

 

。光源（配备品 2 只）、 电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。CCD 对准系统，21 寸液晶显示器

 

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

 

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

 

。真空泵一台

。空压机一台

。管道