日本Samco紫外臭氧清洗机 UV-1
日本Samco紫外臭氧清洗机 UV-300H
日本 SEN UV 清洗灯SUV,EUV 系列
美国Jelight紫外光 加臭氧清洗机 Jelight 42, 144AX,342,256,288A
PM11020紫外UV清洗机
日本Samco紫外臭氧清洗机 UV-1



概要
UV-1是一款紧凑型台式紫外线臭氧清洗机。该系统将紫外线照射、臭氧和平台加热独特地结合在一起,温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体(GaN、GaAs、InP、SiC)、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。
主要特点和优点
最 大加工尺寸为ø100 mm(4英寸)。
加热阶段加快了清洗速度,实现了宽广的工艺温度范围。
紧凑,使用最小的台式空间
简单,在大气压下操作--不需要真空系统。
柔软、完全干燥的工艺不会对基材造成电损伤。
盖子联锁保证了当盖子打开时,系统无法运行。
臭氧催化剂装置,用于将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。
安全性能自动N₂净化循环、加热级保险丝保护、臭氧洗涤器和紧急停止开关。
应用
塑料包装和引线框架的表面清洁。
复合半导体(GaN、GaAs、InP和SiC)的表面清洗。
表面改性(润湿性和附着力的改善
表面氧化(薄氧化层沉积)
光阻剂的灰化、剥离和除尘。
清除有机污染物
紫外线固化
报价:面议
已咨询162次紫外线UV清洗光源设备
报价:面议
已咨询154次紫外线UV清洗光源设备
报价:面议
已咨询419次紫外臭氧清洗
报价:面议
已咨询3777次美国bioforce公司
报价:面议
已咨询2651次CIF紫外臭氧清洗机
报价:面议
已咨询1056次紫外线UV清洗光源设备
报价:面议
已咨询2563次英国Ossila公司
报价:面议
已咨询1658次紫外线UV清洗光源设备
IXION 193 SLM 是一款单频全固态激光系统,适用于光学计量、193 nm 步进光学元件校准或高功率 ArF 准分子激光器的带宽控制等应用。
IXION 193 SLM 是一款单频全固态激光系统,适用于光学计量、193 nm 步进光学元件校准或高功率 ArF 准分子激光器的带宽控制等应用。
ASML 光刻机 Twinscan NXT:1980Di
Syskey 紧凑式溅射系统 Compact Sputter,灵活的基板尺寸,最大可达6英寸,基板架加热温度最高可达500℃,出色的薄膜均匀性,误差小于±3%, 最多可配备5个6英寸磁控溅射源(可选配3或4个),支持射频、直流或脉冲直流电源,最多可支持3条气体管路,支持顺序沉积和共沉积。
Syskey 紧凑式热蒸发系统 Compact Thermal ,灵活的基板尺寸,最大可达6英寸, 基板架加热温度最高可达500℃,出色的薄膜均匀性,误差小于±3%,可选配电子束或热舟蒸发源(最多3个),速率控制沉积,可沉积多层薄膜,选用特定目标材料
高真空溅射系统 HV Sputter,灵活的基板尺寸,最大可达12英寸或200×200毫米, 基板架加热温度最高可达800℃,出色的薄膜均匀性,误差小于±3%
超高真空磁控溅射镀膜机 UHV Sputter,• 基板支架加热至 800 °C • 优异的薄膜均匀性小于 ±3% • 磁控溅射源(数量最多 8 个),可选强磁版本
Syskey 高真空热蒸发镀膜机HV Thermal 高真空热蒸发系统可提供的真空环境 用于常见薄膜沉积,包括金属、有机物、钙钛矿和化合物。全自动系统可满足各种应用要求,包括OLED、OPV、OPD等。