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德国SENTECH 等离子刻蚀机
德国 Sentech 等离子刻蚀机 SI 591, 所有材料的蚀刻,金属溅射,亚微米蚀刻
详细介绍
德国 Sentech 等离子刻蚀机 SI 591
主要特点
❑ 负载锁
❑ 最大 8 英寸晶圆
❑ 紧凑的设计
❑ 占地面积小
应用特点
❑ 所有材料的蚀刻
❑ 金属溅射
❑ 亚微米蚀刻
技术特点
❑ 600 瓦,13.56 MHz
❑ 360 升/秒涡轮分子泵
❑ 旋转前级泵
❑ 负载锁
❑ 集成气箱
❑ 多达 12 条燃气管线
❑ 最 大 8 英寸晶圆
❑ 设计紧凑,占地面积小
报价:¥5000000
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