
※ 广泛应用于微电子、半导体、材料等领域;一般应用在溅 射清洗 /表面准备、表面科学、MBE 、高真空溅射过程 中。
※ 典型应用是氩离子溅射清洗表面。
※ 离子束辅助沉积。
※ 离子束溅射清洗。
※ 反应离子刻蚀。
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完善的射频和离子源控制系统;快速达到放电稳定状态(10s以内);中和器快速稳定(3s以内);在导轨上移动,移动距离大于3米;法兰安装方便;配射频中和器。
北京华纳微科技有限公司自我研发的国产离子源型号LBT87150完全替代进口FEI17135离子源,保证使用寿命超过1000小时,另有配套的拔出极和抑制极以及光阑等都可以在FEI的FIB上替代进口产品使用,经客户反馈使用效果佳,性价比良好。华纳微自主研发的扫描电镜扫描速率可以达到200M每秒,是普通SEM的10倍。同时经营二手场发射扫描电子显微镜、二手电镜、二手FIB、二手SEM、二手FEM等,专业维修FEI电镜、维修ZEISS电镜等。
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