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VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪
- 品牌:沈阳科晶
- 型号: VTC-600-2HD
- 产地:辽宁
- 供应商报价: 面议
- 沈阳科晶自动化设备有限公司 更新时间:2024-04-26 08:08:29
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- 详细介绍
VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪是zuixin研制开发的镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。
主要特点
1、配置两个靶枪,一个为配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个为配套直流电源用于导电类材料的溅射镀膜。
2、可制备多种薄膜,应用广泛。
3、体积小,操作简便。
技术参数
1、电源电压:220V 50Hz
2、总功率:2KW
3、极限真空度:< ?E-6mbar(配合本公司设备使用可达到?E-5mbar)
4、工作温度:室温-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)
5、靶枪数量:2个(可选配其他数量)
6、靶枪冷却方式:水冷
7、靶材尺寸:Φ2″,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
8、直流溅射功率:500W(可选)
9、射频溅射功率:300W/500W(可选)
10、载样台:Φ140mm
11、载样台转速:1-20rpm内可调
12、保护气体:Ar、N2等惰性气体
13、进气气路:质量流量计控制2路进气,每个流量为100SCCM
产品规格
主机尺寸:500mm×560mm×660mm
整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm
重量:160kg
标准配件
1、直流电源控制系统
2、射频电源控制系统
3、膜厚监测仪系统
4、分子泵(德国进口)
5、冷水机
6、冷却水管(Φ6mm)
7、靶材(不锈钢靶、陶瓷靶)
可选配件
金、铟、银、白金等各种靶材