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微型高真空磁控溅射仪
- 品牌：北京博远微纳
- 型号： ETD-600MS
- 产地：北京
- 供应商报价： 面议
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北京意力博通技术发展有限公司
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企业性质
入驻年限第10年
营业执照
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- 详细介绍
ETD-600MS微型磁控溅射仪是我公司研发生产的一款经济实用袖珍型镀膜设备，更适合各科研及教育机构实验室的中试需求。
配置参数如下：
仪器尺寸：480mmWx320mmDx240H
工作腔室：硼硅酸盐玻璃180mmDx200mmH
真空系统：涡轮分子泵，抽速为80L/s,前级机械泵抽速为2L/s带防反油电磁阀及油污过滤器
真空测量：采用复合真空计检测真空
极限真空度：优于5X10-4Pa
工作真空度：5X10-1Pa（溅射真空度手动调节）
溅射工作气体：氩气
工作电压：0-800V
溅射电流：0-500mA
电源：230V/50Hz(包括泵最大电流为6安培）
靶材：D60-80mm多种弱磁靶
选配项：气体质量流量计，冷水机，可根据用户要求进行功能改装
- 技术资料
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