SD-650MH高真空磁控溅射镀膜机

型号：SD-650MH

品牌：北京博远微纳科技有限公司                                                    

▲类型：桌面型                                                             

仪器主机尺寸: 长610mm×宽420mm×高220mm（注：含腔体总高490mm）          

★定制话真空工作腔室接口。金属腔体：直径260mm×高270mm（外尺寸 ）                        

                                    直径210mm×高270mm（内尺寸）                    

靶头：磁控双靶，磁控靶配有挡板结构。可溅射仪强磁性材料。                                 

靶头工作方式：各靶可独立/共同工作，采用磁控靶从上向下溅射镀膜；                                                 

靶材尺寸：直径50mm                                                      

靶材料： 标配二块直径50mm×3mm的铜靶                                  

真空系统：分子泵+直联高速旋片式真空泵，抗冲击涡轮分子泵，抽速为 300L/s                       

前级机械泵：抽速为 4L/s，带防返油电磁阀及油污过滤器 .                   

真空测量：采用复合真空计监测真空                                            

极限真空度: 5×10-5Pa                                                     

▲电气柜：标配直流恒流电源：输入电压：220V 输出电压：0-600v                                   输出电流：0-1.6A                                      

            射频功率电源：功率300W，配射频匹配器。                  

★载样台：定制化样品台，可适用于特殊样品                                         

工作气体： Ar等惰性气体（需自备气瓶及减压阀）                                     

▲气路：气路可以通过电磁流量阀触摸屏与手动阀联动控制             

水冷： 自循环冷却水机                                                                     

电源电压：380V/220V                                          

★控制方式：配置VPI定制化液晶控制系统，可实现双屏分控。可智能控制系统操作，控制电流电压等。

启动功率 ：3KW                                                       

★膜厚仪:液晶触摸屏膜厚仪可选择各靶材定制系数、密度，预置257种镀膜材料，可新增自定义材料          

可镀：铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等