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项目 |
描述 |
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| 二次电子分辨率 | 3.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm高真空模式) | |
| 7.0nm(加速电压=3kV,WD=5mm高真空模式) | ||
| 背散射电子分辨率 | 4.0nm(加速电压=30kV,WD=5mm低真空模式) | |
| 10.0nm(加速电压=5kV,WD=5mm高真空模式) | ||
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率*5) | |
| 7 - 800,000倍(显示器显示倍率*6) | ||
| 加速电压 | 0.3 - 30kV | |
| 可变压力范围 | 6 - 650Pa | |
| 最大样品尺寸 | 直径 200mm | |
| 样品台 | X | 0 - 100mm |
| Y | 0 - 50mm | |
| Z | 5 - 65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 可观察区域 | 直径 130mm (旋转并用) | |
| 最大样品高度 | 80mm(WD=10mm) | |
| 马达台 | 5轴标配 | |
| 电子光学系统 | 电子枪 | 预对中的钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 4孔可动光阑 | |
| 探检测器 | 埃弗哈特 索恩利 二次电子探测器 | |
| 高灵敏度半导体背散射电子检测器 | ||
| EDX分析 WD | 10mm(取出角35°) | |
| 图像显示 | 操作系统 | Windows® 7*7(如有更改,恕不另行通知) |
| 图像显示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) | |
| 小屏模式(800 × 600 像素) | ||
| 双图像显示(800 × 600 像素) | ||
| 四屏幕显示(640 × 480像素) | ||
| 信号混合模式 | ||
| 排气系统 | 操作 | 全自动排气 |
| 涡轮分子泵 | 210升/秒 × 1 | |
| 机械泵 | 135L/min(162L/min,60Hz)× 1 | |
(*2):以127mm×95mm(图像尺寸4"×5")的显示尺寸规定倍率
(*3):以345mm×259mm(像素1,280×960)的显示尺寸规定倍率
(*4):Windows®是微软公司在美国和其他国家的注册商标
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涡轮分子泵组MLT-PT90系列是米立特公司新型的组合式分子泵,能产生5×10-8mbar以上的真空度,同时具有使用简单可靠的特点,被各地的用户广泛使用。它的主要特点如下: • 前泵与分子泵合为一体,不需要再另接前泵。 • 前泵采用干式运行的隔膜泵,使整套设备免维护,干式运行,体积小,重量轻。 • 自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵,不需要附加装置和人为控制,前泵与分子泵的配合完全自动化。
MLT 4.8T干式压缩前级真空泵特点: •干式压缩,无油并且无烃 •可配用于MLT-PT90涡轮分子泵机组 •极限压强低 •进气口为ISO-KF法兰
MLT C系列油泵按zui高要求制造:MLT C系列是双级油封式旋片真空泵,与众不同的特点是结构轻巧,尤其适用于薄膜镀层、变压器油、环氧树脂等的除气、 空间模拟 、冷冻脱水 、蒸馏 、化学/制药;真空冷冻 、容器或舱室排气 、冶金/熔炉 、真空干燥 、鼓风机用备用泵、半导体生产 。关键部件如:旋片、整套密封件及防返油阀等均有德国进口。
MLT 1.4T和MLT 3.8T与传统膜片泵相比,其三级设计可在较低压强范围内提供较高抽速,同时极限压强低于2毫巴(1.5托),因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。该泵结构紧凑,也适合安装在泵系统内。
MLT干式压缩前级真空泵,有T系列,以及三级设计的MLT 1.4 T和3.8 T。所有型号都确保了无油的前级真空。采用三级设计,可在较低压强范围内提供更高抽速,因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。所有型号泵同样也适合在普通低中真空应用中抽送洁净介质。
MLT 1.4L是三级隔膜真空泵,它能抗耐化学品并升级了抽气性能。转速在700-1600rpm范围内可调,因此该泵的抽速可方便的适应不同的需求。内置的膜片材料质采用EPDM并有PTFE涂层。阀门采用KALREZ®,从而确保对腐蚀性气体具有优秀抗耐性。由于采用了三级设计,可轻松达到2mbar的压强。
•MLT 隔膜泵的极限压强低,双级8毫巴(6托)和三级2毫巴(1.5托) •接触气体的泵头其所有部件采用耐腐蚀的PTFE(Tefoln.FFPM)和PVDF(Solef)材料制造 •干式压缩、无油 •能抽水蒸气 •采用经过验证的高品质元件,维护成本低,使用寿命长 •维护工作简单,客户可执行 •运行噪音低 •便携、紧凑、尺寸小 •可以任意方位运行 •真空泵提供过热保护 典型应用•可提供四个抽速类别