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Femto Science 等离子清洗机 表面处理设备 CUTE
- 品牌：北京燕京
- 型号： CUTE
- 产地：韩国
- 供应商报价： 面议
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北京燕京电子有限公司
更新时间：2023-03-06 10:34:29 -
企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
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- 详细介绍
Femto Science 等离子清洗机 表面处理设备 CUTE
图片
简介
CUTE系列等离子清洗机来自韩国Femto Science公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其独特的设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯、2D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的精确控制。
CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。
规格参数
项目
参数
舱体材质
铝合金
舱体内部尺寸
140mm x 200mm x 110mm
电源频率
20~100kHz
电源功率
最 大100W 可自由调节
标准气体输入
1 x 气路
额外气体输入
2 x 空管道可供升级
气体流速控制
MFC自动控制
最 大流速
100sccm
气体流速控制精度
满量程的1%
真空泵抽气速率
80L/min
最小真空
1 x 10-3 Torr
真空测量范围
大气压 ~ 5 x 10-5 Torr
显示
彩色触摸屏，图形化控制界面
操作员分级
2级操作人员分级
程序
可进行半自动控制和全自动编程控制
参数存储
最 大10组工艺参数储存，每组工艺包含最多10个工艺步骤
功能图解
应用系统
PDMS芯片制作
石墨烯，2D材料表面处理
Bio-MEMS
组织工程
食品科学
- 产品优势
- CUTE系列等离子清洗机来自韩国Femto Science公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其独特的设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯、2D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的精确控制。
CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。 - 技术资料
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| 自动化: | 手动 |
