WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命

WCT-120PL产品分别采用标准QSSPC方法和光致发光法测量硅片的载流子寿命。瞬态光电导衰减法（PCD）和荧光方法两种互为补充。操作和使用起来和WCT120一样方便。

wct-120pl系统能力

主要应用：

通过使用QSSPC或短暂的寿命测量和PL测量制造过程监控和优化步骤。

其它功能：

?初始材料（硅片）质量监控

?（硅片）加工过程中的重金属污染晶圆检测

?评价表面钝化和发射极的掺杂剂扩散

?使用隐含的VOC测量来查找生产过程引入的漏电因素

?迭代计算qsspl和QSSPC数据得到衬底掺杂情况

上图是wct-120pl得到的一个校准的荧光寿命曲线与一个校准的QSSPC寿命曲线产生寿命数据的载流子密度对照曲线。

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