仪器动态 | Exploiter粉体包裹原子层沉积（PALD）系统

来源：北京正通远恒科技有限公司更新时间：2025-06-05 17:00:19 阅读量：79

导读：粉末技术经过多年的发展，已经形成多样化的制备及加工技术。粉末原子层沉积技术（PALD）是真正可以实现原子级/分子层级控制精度的粉末涂层技术，并保持良好的共形性。低成本的规模化粉末原子层沉积技术，目前已广泛应用于锂电、催化、金属、制药等领域。

粉末技术经过多年的发展，已经形成多样化的制备及加工技术。其中，表面包覆技术作为提升粉末物理化学性能的重要手段，长期以来一直缺乏有效的精密手段。与传统的表面改性不同，粉末原子层沉积技术（PALD）是真正可以实现原子级/分子层级控制精度的粉末涂层技术，并保持良好的共形性。

低成本规模化粉末原子层沉积技术，广泛应用于锂电、催化、金属、制药等领域。

锂电电极材料包覆

电池工作时，内部产生的有害反应如过渡金属溶解、锂损失和固体电解质膜（SEI）过度生长，会导致电池性能下降，甚至带来安全隐患。

原子层沉积工艺可应用于多种正负极粉末材料、固态电解质和隔膜等，具有提高电池性能、延长电池周期寿命、减少气体生成、减缓锂不可逆损耗和高电压、工作稳定性等优势。

提升催化剂性能

通过粉末原子层沉积技术，可以实现催化剂粉末材料表面的涂层或活性位点制备。无论是在化工品催化或典型的制氢/燃料电池中以及纳米级催化剂存在烧结或者浸出问题，使用原子层沉积技术都可以在典型的如Pd/Al2O3催化剂表面构筑涂层，可避免催化剂的烧结与浸出，从而使实现稳定的芳烃氢化反应。

金属粉末

金属粉末在包括粉末冶金，光伏，MLCC浆料等领域都有较多应用。原子层沉积技术为金属/陶瓷粉末原料提供了多种改进方案：粉末流动性、防潮/抗氧化性、烧结改善界面、减少夹杂物。

制药粉末包覆

制药行业依赖于对活性药物成分 (API) 以及各种辅药在内的药物粉末进行加工。药物粉末被加工成?囊，片剂、丸剂、吸入剂或眼科治疗剂（滴眼液）。由于药粉多为有机固体，其流动性、润湿性、压实性和分散性较差，精确剂量的药粉制造工艺既昂贵又耗时。通过粉末原子层沉积技术可以改善粉末的流动性、压实性和颗粒分散性。

粉体包裹原子层沉积系统（PALD）

基于粉末原子层沉积技术的优点，原速自主研发粉体包裹原子层沉积（PA）系统。

PA系列

设备规格

可处理样品量：克级

工艺温度：温度范围：RT~450°C

前驱体路数：最大支持4路前驱体气路（可定制)，包含固、液态前驱体源瓶

加热系统：可加热温度范围：RT~150℃

反应物路数：支持2路反应物气路（可定制）
载气：标准：N2, MFC流量控制（可定制）
压力监测：三薄膜规组合（耐腐蚀)，0.005Torr - 1000Torr
本底真空度：<5x10^-3Torr
真空系统：标准油泵

机架Cabinet

框架采用进口铝材搭建，重量轻、承载能力强，散热性好

外壳采用碳钢烤漆及圆角处理，轻便美观，拆卸方便，符合人体工学

显示屏360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停

控制系统

控制系统采用PLC+工控机+19寸触摸屏方式实现，通过高速以太网进行通讯。

采用PLC对设备进行实时控制，同时实现基于Windows 7操作系统的人机界面互动，支持历史数据、工艺配方、报警及日志的储存和导入导出的功能

设备支持“一键沉积”功能，点击运行按键即可自动完成真空抽取、升温、材料沉积、降温等一系列步骤。实现单一或多层材料的沉积；提供独立的手动操作页面，支持手动开关阀门的操作，人机交互同时支持鼠标、键盘和触摸的输入方式

设备运行软件提供用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，防止误操作，保证设备和人身安全

设备运行软件提供逻辑互锁功能，防止误操作，并弹出信息对话框进行提示

设备运行软件集成安全及参数配置、IO互锁列表信息功能

真空系统

真空测量采用双真空压力计组合方式，工艺数据更真实，更迅速，更精确，为工艺的可重复性提供了可靠的保障

【END】

电话：010-64415767 | 010-64448295

邮箱：info@honoprof.com

地址：北京市朝阳区胜古中路2号院8号楼309室

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