框架采用进口铝材搭建，重量轻、承载能力强，散热性好

外壳采用碳钢烤漆及圆角处理，轻便美观，拆卸方便，符合人体工学

显示屏360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停

控制系统采用PLC+工控机+19寸触摸屏方式实现，通过高速以太网进行通讯。

采用PLC对设备进行实时控制，同时实现基于Windows 7操作系统的人机界面互动，支持历史数据、工艺配方、报警及日志的储存和导入导出的功能

设备支持“一键沉积”功能，点击运行按键即可自动完成真空抽取、升温、材料沉积、降温等一系列步骤。实现单一或多层材料的沉积；提供独立的手动操作页面，支持手动开关阀门的操作，人机交互同时支持鼠标、键盘和触摸的输入方

设备运行软件提供用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，防止误操作，保证设备和人身安全

设备运行软件提供逻辑互锁功能，防止误操作，并弹出信息对话框进行提示

设备运行软件集成安全及参数配置、IO互锁列表信息功能

真空测量采用双真空压力计组合方式，工艺数据更真实，更迅速，更精确，为工艺的可重复性提供了可靠的保障