冷场发射扫描电镜SU8600的日常维护与常见问题全解答

机械泵/干泵保养

· 换油步骤：

1.  关闭EVAC POWER，等待机械泵冷却至室温；

2. 旋开加油孔，旋开放油孔将废油流入容器中；

3. 清洁放油孔并旋紧，将新油注入加油孔，观察限位刻度，接近不要超过MAX线。

注意：使用机械泵油型号MR-100，每次加注约1L。

· 干泵保养周期：使用8000小时或者一年时，必须进行保养。

空压机保养

· 频率：每月一次

· 注意事项：排水时缓慢旋转塞子，防止高压水溅出，建议垫布或小袋接水。

循环水机保养

· 水流量：1~1.5 L/min

· 正常水温：10~20℃

· 换水与清洁：

   水脏时请及时换水

   关闭EOC与水机电源，取出放水管放水；

   使用纯净水注入水缸清洁脏污，封闭放水管恢复原位；

   倒入纯净水，水位至冷却管上方1cm处，约15~20L；

   取下外罩清洁外罩及过滤网。

电镜烘烤

· 日立内置烘烤系统，用户可自行操作；

· 烘烤时机：

    设备（IP）停机2天以上；

    图像出现过多的横纹干扰；

    IP的真空度比下述更恶劣时

    IP1：2×10^-7Pa

    IP2：2×10^-6Pa

    IP3：2×10^-5Pa

    建议每年烘烤2次。

· 软件设置烘烤：

样品掉入样品仓

· 通过软件将样品仓放气，关闭Stage power，待30 min APT Heater冷却后，开始放气；

· 拆卸样品仓连接线与螺丝，直接脱出样品仓（约30斤）。

拆卸螺丝

磁性样品被物镜吸住

· 放气 → 开仓 → 取样 → 恢复。

意外断电

· 等待主机完全停止（分子泵停转）后再重启（按Reset键，重启控制柜电源）即可。

无光斑

• 调节亮度/对比度，判断是对中问题还是电路问题；

• 使用空样品台，选择标准条件重新机械对中。

样品杆插入注意事项

· 锁紧LOCK档，保证五轴归位（点击EXC）；

· 观察交换仓玻璃窗口的同时，操作样品杆，缓慢，均匀，平推；

· 待样品到位之后，旋到UNLOCK档，缓慢拔出到底，确保压到交换杆的位置传感器；

· 按close关闭交换仓门

样品杆被夹住