实测案例——聚对二甲苯涂层在金属基底表面的厚度与折射率测定

引言：Parylene（聚对二甲苯）是对聚对二甲苯类聚合物的统称。当涂覆于基底表面时，Parylene可形成一层保护性塑料薄膜，有效抵御酸、碱性溶液、灰尘、水蒸气等。常见的Parylene类型包括C型、N型、D型、HT型、AF-4型和F型，每种类型因其独特的化学、电学和物理性能而适用于不同的用途。根据具体应用需求，Parylene涂层的有效厚度范围通常为0.1至76微米。在本应用说明中，我们使用FR-Tools对金属基底上的Parylene涂层进行厚度和折射率的测量。

方法与手段：本研究所用的样品为三种涂覆于金属基底上的Parylene涂层（其中两种为Parylene C，一种为Parylene HT），由Specialty Coating Systems1公司提供。反射率测量使用ThetaMetrisis公司的FR-Basic UV/VIS设备进行，光谱测量范围为200–850 nm。

结果：下图展示了Parylene涂层的典型实验反射光谱（黑线）与拟合反射光谱（红线），均由FR-Monitor软件记录。除较薄的Parylene C样品在400–850 nm光谱范围内进行拟合外，其余样品的拟合均在600–700 nm光谱范围内进行。对于Parylene C样品，第一个样品测得的厚度和折射率分别为30 μm和1.62；第二个Parylene C样品的厚度为545.6 nm（折射率未明确给出）。而对于Parylene HT样品，测得的厚度和折射率分别为27.4 μm和1.52。

图1）：FR-Monitor记录的沉积在金属基底上的Parylene C的镜面反射率及折射率计算结果。测得厚度为30 μm，折射率为1.62。

图2）：FR-Monitor记录的沉积在金属基底上的Parylene HT的镜面反射率及折射率计算结果。测得厚度为27.4 μm，折射率为1.52。

图3）：FR-Monitor记录的沉积在硅（Si）基底上的薄层Parylene C的镜面反射率及折射率计算结果。

结论：利用FR-Tools成功测量了金属表面和硅（Si）基底上Parylene C与Parylene HT聚合物涂层的厚度及其折射率。